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安全データシート
シラン
作成日2003年 5月 6日
改定日2006年10月13日
１．化学物質等及び会社情報
化学物質等の名称： シラン
製品コード： ○○○
会社名： ○○○○株式会社
住所： 東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号： 03−1234−5678
緊急連絡電話番号： 03−1234−5678
FAX番号： 03−1234−5678
メールアドレス：
推奨用途及び使用上の制限： シリコンのエピタキシャル成長、ポリシリコン、酸化シリコン、窒化シリコンなどの原料
半導体用特殊ガスの中では最も多量に使用されている
２．危険有害性の要約
ＧＨＳ分類
物理化学的危険性 火薬類 分類対象外
可燃性・引火性ガス 区分1
可燃性・引火性エアゾール 分類対象外
支燃性・酸化性ガス 区分外
高圧ガス 圧縮ガス
引火性液体 分類対象外
可燃性固体 分類対象外
自己反応性化学品 分類対象外
自然発火性液体 分類対象外
自然発火性固体 分類対象外
自己発熱性化学品 分類対象外
水反応可燃性化学品 分類対象外
酸化性液体 分類対象外
酸化性固体 分類対象外
有機過酸化物 分類対象外
金属腐食性物質 分類できない
人健康有害性 急性毒性（経口） 分類対象外
急性毒性（経皮） 分類対象外
急性毒性（吸入：気体） 区分5
急性毒性（吸入：蒸気） 分類対象外
急性毒性（吸入：粉じん） 分類対象外
急性毒性（吸入：ミスト） 分類対象外
皮膚腐食性・刺激性 区分2
眼に対する重篤な損傷・眼刺激性 区分2A
呼吸器感作性 分類できない
皮膚感作性 分類できない
生殖細胞変異原性 分類できない
発がん性 分類できない
生殖毒性 分類できない
特定標的臓器・全身毒性 区分3(気道刺激性)
（単回ばく露）
特定標的臓器・全身毒性 区分2(肺)
（反復ばく露）
吸引性呼吸器有害性 分類対象外
環境有害性 水生環境急性有害性 分類できない
水生環境慢性有害性 分類できない
ラベル要素
絵表示又はシンボル： 炎　ガスボンベ　感嘆符　健康有害性
注意喚起語： 危険
危険有害性情報： 極めて可燃性・引火性の高いガス
加圧ガス：熱すると爆発するおそれ
吸入すると有害のおそれ（気体）
皮膚刺激
強い眼刺激
呼吸器への刺激のおそれ
長期又は反復ばく露による肺の障害のおそれ
注意書き： 【安全対策】
熱、火花、裸火のような着火源から遠ざけること。−禁煙。
適切な保護手袋を着用すること。
適切な保護眼鏡、保護面を着用すること。
ガスを吸入しないこと。
取扱い後はよく手を洗うこと。
屋外又は換気の良い区域でのみ使用すること。
【応急措置】
漏洩ガス火災の場合、漏洩が安全に停止されない限り消火しないこと。
漏洩ガス火災の場合、安全に対処できるならば着火源を除去すること。
取り扱い後はよく手を洗うこと。
皮膚に付着した場合、多量の水と石鹸で洗うこと。
皮膚に付着した場合、汚染された衣類を脱ぐこと。
汚染された衣類を再使用する前に洗濯すること。
吸入した場合、被災者を新鮮な空気のある場所に移動し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
眼に入った場合、水で数分間注意深く洗うこと。次に、コンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
皮膚に付着した場合、皮膚刺激が生じた場合、医師の診断、手当てを求めること。
眼に入った場合、眼の刺激が持続する場合は医師の診断、手当てを受けること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
【保管】
日光から遮断し、換気の良い場所で保管すること。
施錠して保管すること。
容器を密閉して換気の良い場所で保管すること。
【廃棄】
内容物、容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に業務委託すること。
国・地域情報：
３．組成、成分情報
化学物質
化学名又は一般名： シラン(Silane)
別名： モノシラン(Monosilane)
シリコンテトラヒドリド(Silicone tetrahydride)
(Silicane)
化学式： H4Si
化学特性（化学式又は構造式）： 化学式又は構造式
ＣＡＳ番号： 7803-62-5
官報公示整理番号 (1)-735
（化審法・安衛法）：
分類に寄与する不純物及び安定化添加物： 情報なし
濃度又は濃度範囲： 情報なし
４．応急措置
吸入した場合： 被災者を新鮮な空気のある場所に移動し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
皮膚に付着した場合： 汚染された衣類を脱ぐこと。
皮膚を速やかに洗浄すること。
多量の水と石鹸で洗うこと。
皮膚刺激が生じた場合、医師の診断、手当てを受けること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
汚染された衣類を再使用する前に洗濯すること。
目に入った場合： 水で数分間注意深く洗うこと。次に、コンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
眼の刺激が持続する場合は、医師の診断、手当てを受けること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
飲み込んだ場合： 口をすすぐこと。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
予想される急性症状及び遅発性症状： 吸入した場合：咳、頭痛、吐き気、咽頭痛。
皮膚に付着した場合：発赤。液体に触れると凍傷。
眼に入った場合：発赤、痛み。
最も重要な兆候及び症状：
５．火災時の措置
消火剤： 小火災：二酸化炭素、粉末消火剤
大火災：二酸化炭素、粉末消火剤
使ってはならない消火剤： ハロン系消火剤
特有の危険有害性： 容易に発火するおそれがある。
加熱により容器が爆発するおそれがある。
破裂したボンベが飛翔するおそれがある。
火災によって刺激性又は毒性のガスを発生するおそれがある。
特有の消火方法： 漏洩が安全に停止されない限り消火しないこと。
安全に対処できるならば着火源を除去すること。
危険でなければ火災区域から容器を移動する。
ガスの滞留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。
消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷却する。
漏洩部や安全装置に直接水をかけてはいけない。凍るおそれがある。
消火活動は、有効に行える最も遠い距離から、無人ホース保持具やモニター付きノズルを用いて消火する。
大火災の場合、無人ホース保持具やモニター付きノズルを用いて消火する。これが不可能な場合には、その場所から避難し、燃焼させておく。
ガスの滞留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。
ガス漏れを止められないときは、漏洩ガスの火災は消火しない。
容器内に水を入れてはいけない。
消火を行う者の保護： 消火作業の際は、適切な空気呼吸器を含め適切な防護服（耐熱性）を着用する。
６．漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及び緊急時措置： 漏洩物に触れたり、その中を歩いたりしない。
直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。
関係者以外の立入りを禁止する。
作業者は適切な保護具（「８．ばく露防止及び保護措置」の項を参照）を着用し、眼、皮膚への接触や吸入を避ける。
風上に留まる。
低地から離れる。
ガスが拡散するまでその場所を隔離する。
環境に対する注意事項： 河川等に排出され、環境へ影響を起こさないように注意する。
環境中に放出してはならない。
回収、中和： 情報なし
封じ込め及び浄化の方法・機材： 危険でなければ漏れを止める。
可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液体でなく気体が放出するようにする。
蒸発を抑え、蒸気の拡散を防ぐため散水を行う。
漏出物を取扱うとき用いる全ての設備は接地する。
二次災害の防止策： すべての発火源を速やかに取除く（近傍での喫煙、火花や火炎の禁止）。
排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場所への流入を防ぐ。
水を漏洩物に接触させない。
ガスが拡散するまでその場所を隔離する。
７．取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策： 「８．ばく露防止及び保護措置」に記載の設備対策を行い、保護具を着用する。
局所排気・全体換気： 「８．ばく露防止及び保護措置」に記載の局所排気、全体換気を行う。
安全取扱い注意事項： 周辺での高温物、スパーク、火気の使用を禁止する。
加圧ガスを含有し、熱すると爆発のおそれがある。
容器は丁寧に取り扱い、衝撃を与えたり、転倒させない。
容器の取り付け、取り外しの作業の際は、漏洩させないよう、十分注意する。
使用後は、バルブを完全に閉め、口金キャップを取り付け、保護キャップを付ける。
漏洩すると、発火、爆発する危険性がある。
内容物を故意に吸い込まないこと。
接触、吸入又は飲み込まないこと。
空気中の濃度をばく露限度以下に保つために排気用の換気を行うこと。
多量に吸入すると、窒息する危険性がある。
目や口に入ると刺激を受けることがあり、使用の際には十分気を付けること。
取扱い後はよく手を洗うこと。
屋外又は換気の良い区域でのみ使用すること。
接触回避： 「１０．安定性及び反応性」を参照。
保管
技術的対策： 専用の高圧ガス容器に保管する。
容器は保安上使用後1年以内に、速やかに販売事業者に返却すること（高圧ガス保安協会指針）。
混触危険物質： 「１０．安定性及び反応性」を参照。
保管条件： 熱、火花、裸火のような着火源から離して保管すること。−禁煙。
着火源から離して保管すること。
換気の良い場所で保管すること。
酸化剤、酸素、爆発物、ハロゲン、圧縮空気、酸、塩基、食品化学品等から離して保管する。
容器は直射日光や火気を避け、40℃以下の温度で保管すること。
容器を密閉して換気の良い場所で保管すること。
施錠して保管すること。
容器包装材料： 高圧ガス保安法及び国連輸送法規で規定されている容器を使用する。
８．ばく露防止及び保護措置
管理濃度： 設定されていない。
許容濃度（ばく露限界値、生物学的
ばく露指標）：
日本産業衛生学会（2006年版） 最大許容濃度 100ppm 130mg/m3
ACGIH （2006年版） TLV-TWA 5ppm
設備対策： 防爆仕様の局所排気装置を設置する。
この物質を貯蔵ないし取扱う作業場には洗眼器と安全シャワーを設置すること。
空気中の濃度を制御するには、一般適正換気で十分である。
高熱工程でガスが発生するときは、空気汚染物質を管理濃度・許容濃度以下に保つために換気装置を設置する。
保護具
呼吸器の保護具： 適切な呼吸器保護具を着用すること。
手の保護具： 保温用手袋を着用すること。
眼の保護具： 適切な眼の保護具を着用すること。
保護眼鏡（普通眼鏡型、側板付き普通眼鏡型、ゴーグル型）
皮膚及び身体の保護具： 適切な顔面用の保護具を着用すること。
衛生対策： 取扱い後はよく手を洗うこと。
９．物理的及び化学的性質
物理的状態、形状、色など： 無色の気体 14)
臭い： 特徴的な臭気 14)
pH： データなし
融点・凝固点： -185℃(融点） 1)
沸点、初留点及び沸騰範囲： -112℃(沸点） 1)
引火点： データなし
爆発範囲： 下限　1.37vol％ 　上限　100vol％ 1)
蒸気圧： 40.8×103 mbar (-10℃） 1)
蒸気密度（空気 = 1）： 1.3 1)
比重（密度）： 0.68 (-185℃、液化状態） 2)
溶解度： 徐々に反応する(水） 14)
エチルエーテル、ベンゼン、クロロホルム、エタノールに不溶 29)
オクタノール/水分配係数： データなし
自然発火温度： データなし
分解温度： データなし
臭いのしきい（閾）値 データなし
蒸発速度（酢酸ブチル = 1）： データなし
燃焼性（固体、ガス）：　 データなし
粘度： データなし
１０．安定性及び反応性
安定性： 空気に触れると、自然発火することがある。
加熱や燃焼により分解し、シリコン、水素を生じ、火災や爆発の危険をもたらす。
危険有害反応可能性： 強力な還元剤で酸化剤と反応する。水と徐々に反応する。水酸化カリウム溶液、ハロゲンと反応する。
避けるべき条件： 空気、加熱、高温面。
混触危険物質： 四塩化炭素、臭素、塩素、酸素、水、空気、亜酸化窒素。
危険有害な分解生成物： 水素、ケイ素。
１１．有害性情報
急性毒性： 経口：常温気体であり、分類対象外である。
経皮：常温気体であり、分類対象外である。
吸入（気体）：Priority 1文書のラットのLC50 = 9600ppm/4Hに従えば区分4の外となるが 10)、Priority 2文書のラットのLC50 = 4000ppm/4H は区分4相当であり 6)、区分4までの用量で死亡動物が出ていることから、区分5とした。
吸入すると有害のおそれ（気体）
皮膚腐食性・刺激性： ヒトで皮膚刺激性を示す記述 10) , 14) , 12) , 13) がある。分類の指標となる動物試験のデータは見つからなかったが、「強い刺激性」の記載がある 12) , 13) ことと、安全性を考慮して、区分2とした。
皮膚刺激
眼に対する重篤な損傷・刺激性： ACGIH (7th, 2001)、ICSC (J)(1997)、HSFS(2001)、SITTIG (4th, 2002)にヒトで眼刺激性を示す記述 10) , 14) , 12) , 13) がある。細区分の指標となる動物試験のデータは見つからなかったが、「強い刺激性」の記載がある 12) , 13) ことと、安全性を考慮して、区分2Aとした。
強い眼刺激
呼吸器感作性又は皮膚感作性： 呼吸器感作性：データなし
皮膚感作性：データなし
生殖細胞変異原性： in vivo の試験データは見つからず、in vitro の復帰突然変異試験で陽性報告が1件あるが 11)、データ不足のため分類できない。
発がん性： データなし
生殖毒性： データなし
特定標的臓器・全身毒性 ヒトで気道刺激性を示す記述があり 14) , 12) , 13)、区分3(気道刺激性)とした。
（単回ばく露）：
呼吸器への刺激のおそれ
特定標的臓器・全身毒性 Priority 2文書にヒトで肺線維症を起こすとの記載があり 21)、区分2(肺)とした。
（反復ばく露）：
長期又は反復ばく露による肺の障害のおそれ
吸引性呼吸器有害性： 常温気体であり、分類対象外である。
１２．環境影響情報
水生環境急性有害性： データ不足のため分類できない
水生環境慢性有害性： データ不足のため分類できない
１３．廃棄上の注意：
残余廃棄物： 高圧ガスを廃棄する場合は、高圧ガス保安法一般高圧ガス保安規則の規定に従うこと。
汚染容器及び包装： 高圧ガスの容器を廃棄する場合は、製造業者等専門業者に回収を依頼すること。
１４．輸送上の注意
国際規制
海上規制情報 IMOの規定に従う。
UN No.： 2203
Proper Shipping Name： SILANE
Class： 2.1
Marine Pollutant： Not applicable
航空規制情報 Forbidden
国内規制
陸上規制情報 高圧ガス保安法の規定に従う。
海上規制情報 船舶安全法の規定に従う。
国連番号： 2203
品名： シラン
クラス： 2.1
海洋汚染物質： 非該当
航空規制情報 輸送禁止
特別の安全対策 移動、転倒、衝撃、摩擦などを生じないように固定する。
運搬時には容器を40℃以下に保ち、特に夏場はシートをかけ温度上昇の防止に努める。
火気、熱気、直射日光に触れさせない。
輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
食品や飼料と一緒に輸送してはならない。
鋼材部分と直接接触しないようにする。
重量物を上乗せしない。
移送時にイエローカードの保持が必要。
１５．適用法令
労働安全衛生法： 名称等を表示すべき危険有害物（法第57条、施行令第18条別表第9）
名称等を通知すべき危険有害物（法第57条の2、施行令第18条の2別表第9）
リスクアセスメントを実施すべき危険有害物（法第57条の3）
危険物・可燃性のガス
（施行令別表第1第5号）
変異原性が認められた既存化学物質
（法第57条の5、労働基準局長通達）
高圧ガス保安法： 圧縮ガス
（法第2条1）
船舶安全法： 高圧ガス
（危規則第2,3条危険物告示別表第1）
航空法： 輸送禁止
１６．その他の情報
参考文献
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52) CERI・NITE有害性評価書 No.12 (2004）
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54) NITE初期リスク評価書No.16 (2005)
55) ACGIH-TLV (2005)
56) Dean (15th Ed.)
災害事例
(1) 超LSI製造工場のプラズマCVD装置に接続している排ガス燃焼装置の排気管付近から出火した。
(2) モノシラン容器に配管を接続し、ガス供給を始めたところ、接続部から、ガスがリ−クし、発火した。
(3) モノシラン容器と圧力調整器取付部よりガスが噴出し、火傷を負った。
(4) クリ−ンル−ム内でモノシランガスのボンベを交換中、ガスボンベの交換時に使用する操作ボックス内でモノシランガスが漏えいして爆発して、1名死亡、3名が重軽傷を負った。