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安全データシート
ヘキサメチル-ジシラザン
作成日　2013/2/15
１．化学品及び会社情報
化学品の名称ヘキサメチル-ジシラザン
(Hexamethyldisilazane)
製品コード24A6122
会社名○○○○株式会社
住所東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号03-1234-5678
FAX番号03-1234-5678
電子メールアドレス連絡先＠検セ.or.jp
緊急時の電話番号03-1234-5678
推奨用途及び使用上の制限クロマトグラフ支持材料の非活性化、 セミコンダクター装置製造時のシリコーンまたは酸化シリコーンのフォトレジスト圧着の推進剤
 
２．危険有害性の要約
GHS分類
分類実施日平成24年。政府向けGHS分類ガイダンス（H22.7版）を使用
GHS改訂４版を使用
物理化学的危険性引火性液体区分2
健康に対する有害性急性毒性（経口）区分4
急性毒性（経皮）区分3
急性毒性（吸入：蒸気）区分3
皮膚腐食性／刺激性区分1
眼に対する重篤な損傷／眼刺激性区分2B
特定標的臓器毒性（単回ばく露）区分1（神経系）、区分3（麻酔作用、気道刺激性）
環境に対する有害性水生環境有害性 （急性）分類実施中
水生環境有害性 （長期間）分類実施中
オゾン層への有害性分類実施中
注）　上記のGHS分類で区分の記載がない危険有害性項目については、政府向けガイダンス文書で規定された「分類対象外」、「区分外」または「分類できない」に該当する。なお、健康有害性については後述の１１項に、「分類対象外」、「区分外」または「分類できない」の記述がある。
ＧＨＳラベル要素
絵表示炎どくろ腐食性健康有害性
注意喚起語危険
危険有害性情報引火性の高い液体及び蒸気
飲み込むと有害
皮膚に接触すると有毒
吸入すると有毒
重篤な皮膚の薬傷及び眼の損傷
眼刺激
臓器の障害(神経系）
呼吸器への刺激のおそれ
眠気又はめまいのおそれ
注意書き
安全対策熱､火花､裸火､高温のもののような着火源から遠ざけること｡-禁煙｡
容器を密閉しておくこと｡
容器を接地すること､ｱｰｽをとること｡
防爆型の電気機器､換気装置､照明機器を使用すること｡
火花を発生させない工具を使用すること｡
静電気放電に対する予防措置を講ずること｡
粉じん､煙､ｶﾞｽ､ﾐｽﾄ､蒸気､ｽﾌﾟﾚｰを吸入しないこと｡
取扱後は手などをよく洗うこと｡
この製品を使用する時に､飲食又は喫煙をしないこと｡
屋外又は換気の良い場所でのみ使用すること｡
保護手袋､保護衣､保護眼鏡､保護面を着用すること｡
応急措置吸入した場合：空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
皮膚（又は髪）に付着した場合：汚染された衣類を直ちに全て脱ぐこと。皮膚を流水、シャワーで洗うこと。
　　汚染された衣類を再使用する場合には洗濯をすること。
眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
飲み込んだ場合：口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。
直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　　特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
火災の場合には、火元への燃焼源を断ち、適切な消火剤を使用して消火すること。
保管換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
涼しいところに置くこと。
施錠して保管すること。
廃棄内容物、容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に委託すること。
他の危険有害性
３．組成及び成分情報
単一製品・混合物の区別単一製品
化学名又は一般名ヘキサメチル-ジシラザン
別名ヘキサメチルジシラザン、1,1,1,3,3,3-ヘキサメチル-1,3-ジシラ-2-アザプロパン、ビス(トリメチルシリル)アミン、Hexamethyldisilazane、1,1,1,3,3,3-Hexamethyl-1,3-disila-2-azapropane、Bis(trimethylsilyl)amine
濃度又は濃度範囲100％
分子式 (分子量)C6H19NSi2（161.39）
化学特性 (示性式又は構造式)構造式
CAS番号999-97-3
官報公示整理番号（化審法）(2)-2044、(2)-2955、 (9)-1324
官報公示整理番号（安衛法）(2)-2044、(2)-2955、 (9)-1324
分類に寄与する不純物及び安定化添加物データなし。
４．応急措置
吸入した場合空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　　特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
皮膚に付着した場合汚染された衣類を直ちに全て脱ぐこと。皮膚を流水、シャワーで洗うこと。
汚染された衣類を再使用する場合には洗濯をすること。
直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　　特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
眼に入った場合水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　　特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
飲み込んだ場合口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。
直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　　特別な処置が必要である（このラベルの．．．を見よ）。
急性症状及び遅発性症状の最も重要な徴候症状データなし。
応急措置をする者の保護データなし。
医師に対する特別な注意事項データなし。
５．火災時の措置
消火剤粉末消火薬剤、泡消火薬剤、二酸化炭素、砂
使ってはならない消火剤棒状水
特有の危険有害性当該製品は分子中にＮを含有しているため火災時に刺激性もしくは有毒なヒューム（またはガス）を放出する。
当該製品は分子中にＮを含有しているため燃焼ガスには、一酸化炭素などの他、窒素酸化物系のガスなどの有毒ガスが含まれるので、消火作業の際には、煙を吸入しないように注意する。
特有の消火方法消火作業は、風上から行う。
周辺火災の場合に移動可能な容器は、速やかに安全な場所に移す。
火災発生場所の周辺に関係者以外の立入りを禁止する。
関係者以外は安全な場所に退去させる。
消火するために粉末消火薬剤、泡消火薬剤、二酸化炭素、砂を使用すること。
消火を行う者の保護消火作業では、適切な保護具（手袋、眼鏡、マスク等）を着用する。
６．漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及び緊急措置作業には、必ず保護具（手袋・眼鏡・マスクなど）を着用する。
多量の場合、人を安全な場所に退避させる。
必要に応じた換気を確保する。
環境に対する注意事項漏出物を河川や下水に直接流してはいけない。
封じ込め及び浄化の方法及び機材少量の場合、吸着剤（土・砂・ウエスなど）で吸着させ取り除いた後、残りをウエス、雑巾などでよく拭き取る。大量の水で洗い流す。
多量の場合、盛り土で囲って流出を防止し、安全な場所に導いてからドラムなどに回収する。
付近の着火源となるものを速やかに除くとともに消火剤を準備する。
床に漏れた状態で放置すると、滑り易くスリップ事故の原因となるため注意する。
漏出物の上をむやみに歩かない。
火花を発生しない安全な用具を使用する。
回収物の収納容器は、内容物の処分を行うまで密封しておく。
７．取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策取扱い場所の近くに、洗眼及び身体洗浄のための設備を設置する。
安全取扱い注意事項熱､火花､裸火､高温のもののような着火源から遠ざけること｡-禁煙｡
容器を密閉しておくこと｡
容器を接地すること､ｱｰｽをとること｡
防爆型の電気機器､換気装置､照明機器を使用すること｡
火花を発生させない工具を使用すること｡
静電気放電に対する予防措置を講ずること｡
粉じん､煙､ｶﾞｽ､ﾐｽﾄ､蒸気､ｽﾌﾟﾚｰを吸入しないこと｡
取扱後は手などをよく洗うこと｡
この製品を使用する時に､飲食又は喫煙をしないこと｡
屋外又は換気の良い場所でのみ使用すること｡
保護手袋､保護衣､保護眼鏡､保護面を着用すること｡
火気厳禁
接触回避データなし。
衛生対策取扱い後は手などをよく洗うこと。
保管
安全な保管条件換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
涼しいところに置くこと。
施錠して保管すること。
火気厳禁
窒素シールをして保管する。酸性物質と一緒に保管しない。
安全な容器包装材料鉄製の容器はさける。
８．ばく露防止及び保護措置
管理濃度未設定
許容濃度
日本産衛学会（2012年度版）未設定
ACGIH（2012年版）未設定
設備対策蒸気またはヒュームやミストが発生する場合は、局所排気装置を設置する。
取扱い場所の近くに、洗眼及び身体洗浄のための設備を設置する。
容器を接地すること､ｱｰｽをとること｡
防爆型の電気機器､換気装置､照明機器を使用すること｡
火花を発生させない工具を使用すること｡
静電気放電に対する予防措置を講ずること｡
保護具
呼吸用保護具必要に応じて、適切な呼吸用保護具を着用すること。
手の保護具保護手袋､保護衣を着用すること｡
眼の保護具保護眼鏡､保護面を着用すること｡
皮膚及び身体の保護具保護手袋､保護衣､保護眼鏡､保護面を着用すること｡
９．物理的及び化学的性質
物理的状態
形状液体（Merck (14th, 2006)）
色無色（Merck (14th, 2006)）
臭いアンモニア臭（Merck (14th, 2006)）
臭いのしきい（閾）値データなし。
ｐＨ> 7.0（MSDS(Sigma-Aldrich) (2012)）
融点・凝固点-70℃（NFPA (14th, 2010)）
沸点、初留点及び沸騰範囲126℃（Merck(14th, 2006)）
引火点9℃(48F)（CC)（NFPA (14th, 2010)）
蒸発速度（酢酸ブチル＝１）データなし。
燃焼性（固体、気体）データなし。
燃焼又は爆発範囲下限： 0.7%
上限：31%（NFPA (14th, 2010)）
蒸気圧13.8 mmHg（25℃）（HSDB (2004)）
蒸気密度データなし。
比重（相対密度）0.765（20℃/4℃）（有機化合物辞典 (1985)）
溶解度水：392 mg/L （25℃/Estimated)（HSDB (2004)）
エーテル、ベンゼン等の有機溶媒に易溶（有機化合物辞典 (1985)）
n-オクタノール／水分配係数log Kow = 2.62 /Estimated/（HSDB (2004)）
自然発火温度325℃（HSDB (2004)）
分解温度データなし。
粘度（粘性率）0.9ｃSt（Merck(14th, 2006)）
１０．安定性及び反応性
反応性水や湿気との接触でアンモニアを生成する。
化学的安定性高引火性液体。蒸気は、空気との爆発性混合物を生じる。水で分解する。湿気に敏感。揮発性
危険有害反応可能性情報なし。
避けるべき条件熱、炎、火花。極端な温度、直射日光。
混触危険物質情報なし。
危険有害な分解生成物アンモニア
１１．有害性情報
急性毒性
経口ラットのLD50値として、4件のデータ（1416 mg/kg (雄)、1904 mg/kg (雌)、774 mg/kg、851 mg/kg）（全て SIAP (2009)）が報告され、いずれも区分4に該当する。なお、健康有害性に関しては、本物質の加水分解生成物であるアンモニア（CAS番号 7664-41-7）、トリメチルシラノール (CAS番号 1066-40-6)も参照のこと。GHS分類：区分4
経皮ウサギのLD50値として、3件のデータ（547 mg/kg（雌）、589 mg/kg（雄）、1350 mg/kg（雌雄併合））（全て SIAP (2009)）が報告され、2件（同一試験の雌雄データ）は区分3、他の1件（雌雄併合データ）は区分4に該当するが、危険性の高い区分を採用し、区分3とした。GHS分類：区分3
吸入：ガスGHSの定義における液体である。GHS分類：分類対象外
吸入：蒸気ラットのLC50値は10 mg/L/6h（1516 ppm、4時間換算値 = 1857 ppm/4h）（SIAP (2009)）に基づき、区分3とした。なお、LC50値（1516 ppm）が飽和蒸気圧濃度（18158 ppm）の90%より低いことから、気体の基準値を適用した。GHS分類：区分3
吸入：粉じん及びミストデータなし。GHS分類：分類できない
皮膚腐食性及び刺激性ウサギ6匹を用いたドレイズ試験で4時間適用の結果、6匹全てに重度の紅斑、中等度～重度の浮腫と壊死が認められ（IUCLID (2000)）、さらに、4時間の閉塞条件下でばく露した試験（米国運輸省規制準拠）では、本物質により壊死が発生した（SIAP (2009)）との報告に基づき、区分1とした。なお、ウサギを用いた試験（OECD TG 404）で皮膚刺激性はなかったとの記載もあり、詳細不明であるが閉塞用カバーの使用が影響の程度を増強させているようである（(SIAP (2009)）。 GHS分類：区分1
眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性ウサギを用いた眼刺激性試験で軽度の刺激性（slightly irritating）との結果(IUCLID (2000))があり、その他に標準的な動物試験（OECD TG405またはそれに準ずる試験法）で軽度の刺激性または刺激性なし（slightly or not irritating）であった（SIAP (2009)）と記述されていることから、区分2Bとした。GHS分類：区分2B
呼吸器感作性データなし。GHS分類：分類できない
皮膚感作性データなし。GHS分類：分類できない
生殖細胞変異原性in vivo試験のデータがなく分類できない。なお、in vitro試験としては、エームス試験（SIAP (2009)、NTP DB (1995)）、マウスリンフォーマ試験（SIAP (2009)）、およびCHO細胞を用いた染色体異常試験（NTP DB (Access on Sep. 2012)）でいずれも陰性の報告がある。GHS分類：分類できない
発がん性データなし。GHS分類：分類できない
生殖毒性ラットの吸入ばく露による反復投与毒性・生殖発生毒性併合試験（OECD TG422）において、親動物が神経系に対する影響や体重および摂餌量の低下などの一般毒性を示した最高用量（2.66 mg/L/6h/day）で、生殖および発生に及ぼす悪影響の証拠は認められなかった（SIAP (2009)）が、催奇形性を含む仔の発生に対する影響に関してはデータ不足のため「分類できない」とした。GHS分類：分類できない
特定標的臓器毒性（単回ばく露）ラットの経口または吸入、ウサギの経皮による各経路の単回投与試験において、神経系に対する影響に符号する臨床症状が観察された（SIAP (2009)）。ラットの吸入で影響が認められたのはガイダンス値区分1に相当する5.9 mg/L/6h（7.2 mg/L/4h）以上の濃度であり、また、ウサギの経皮投与のLD50値（547および589 mg/kg）は単回ばく露のガイダンス値範囲では区分1に相当することから、区分1（神経系）とした。また、マウスに300および450 mg/kgを経口投与により、鎮静が観察され、それ以上の用量で呼吸困難、運動失調、過剰興奮に続き、正向反射の消失を伴う長時間の麻酔作用が認められた（IUCLID (2000)）ことから、区分3（麻酔作用）とした。さらに、ラットに吸入ばく露した試験では、呼吸緩徐、呼吸音、および呼吸困難が観察され、気道刺激性が示唆される（SIAP (2009)）との記述により、区分3（気道刺激性）とした。 GHS分類：区分1（神経系）、区分3（麻酔作用、気道刺激性）
特定標的臓器毒性（反復ばく露）ラットの吸入ばく露による反復投与・生殖発生毒性試験併合試験(OECD TG 422)において、2.66 mg/L/6h群で投与開始直後に認められた神経症状（SIAP (2009)）は、急性影響のため本項では分類の根拠としなかった。その他の影響として、2.66 mg/L/6h（90日換算：雄 0.82 mg/L/6h、雌 1.27 mg/L/6h）群では、体重および摂餌量の減少、血液、および血液生化学検査の指標に影響が認められ、精巣上体、肺、腎臓、および肝臓の重量変化、また、唯一の組織学的所見として雌の肝臓では小葉中心性細胞肥大が認められた（SIAP (2009)）。以上の報告の範囲内では明らかな悪影響を示す所見は見当たらないが、詳細不明であり、また、他経路のデータもないことから、データ不足で「分類できない」とした。 GHS分類：分類できない
吸引性呼吸器有害性データなし。GHS分類：分類できない
１２．環境影響情報
生態毒性
水生環境有害性（急性）分類実施中
水生環境有害性（長期間）分類実施中
オゾン層への有害性分類実施中
１３．廃棄上の注意
残余廃棄物廃棄の前に、可能な限り無害化、安定化及び中和等の処理を行って危険有害性のレベルを低い状態にする。
内容物／容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に委託すること。
汚染容器及び包装容器は清浄にしてリサイクルするか、関連法規並びに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。
１４．輸送上の注意
該当の有無は製品によっても異なる場合がある。法規に則った試験の情報と、分類実施中の12項の環境影響情報とに、基づく修正の必要がある。
国際規制 海上輸送はIMOの規則に、航空輸送はICAO/IATAの規則に従う。
国連番号3286
国連品名その他の引火性液体（毒性かつ腐食性のもの）
国連危険有害性クラス3
副次危険6.1,8
容器等級Ⅱ
国内規制
海上規制情報船舶安全法の規定に従う。
航空規制情報航空法の規定に従う。
陸上規制情報消防法の規定に従う。
特別安全対策移送時にイエローカードの保持が必要。
食品や飼料と一緒に輸送してはならない。
輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号131
１５．適用法令
法規制情報は作成年月日時点に基づいて記載されております。事業場において記載するに当たっては、最新情報を確認してください。
労働安全衛生法危険物・引火性の物
消防法第４類引火性液体、第一石油類非水溶性液体
船舶安全法引火性液体
航空法引火性液体
１６．その他の情報
参考文献各データ毎に記載した｡
＜モデルSDSを利用するときの注意事項＞
本安全モデルデータシートは作成年月日時点における情報に基づいて記載されておりますので、事業場においてSDSを作成するに当たっては、 新たな危険有害性情報について確認することが必要です。さらに、本安全データシートはモデルですので、実際の製品等の性状に基づき追加修正する必要があります。 また、特殊な条件下で使用するときは、その使用状況に応じた情報に基づく安全対策が必要となります。