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安全データシート
(JIS Z7253:2019準拠)
シラン
作成日 2003年5月6日
改訂日 2006年10月13日
改訂日 2019年3月15日
1.化学品等及び会社情報
化学品等の名称シラン
製品コードH30-C-088-MHLW
会社名○○○○株式会社
住所東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号03-1234-5678
ファックス番号03-1234-5678
電子メールアドレス連絡先@検セ.or.jp
緊急連絡電話番号03-1234-5678
推奨用途及び使用上の制限シリコンのエピタキシャル成長用,酸化シリコン原料,半導体用特殊ガス

2.危険有害性の要約
GHS分類
分類実施日
(物化危険性及び健康有害性)
H31.3.15、政府向けGHS分類ガイダンス (H25年度改訂版 (ver1.1):JIS Z7252:2014準拠) を使用
GHS改訂4版を使用
物理化学的危険性可燃性/引火性ガス(化学的に不安定なガスを含む)区分1
高圧ガス圧縮ガス
健康に対する有害性急性毒性(吸入:ガス)区分5
皮膚腐食性及び皮膚刺激性区分2
眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性区分2A
特定標的臓器毒性
(単回ばく露)
区分3(気道刺激性)
特定標的臓器毒性
(反復ばく露)
区分2(肺)
分類実施日
(環境有害性)
環境に対する有害性はH18年度、GHS分類マニュアル(H18.2.10版)を使用
環境に対する有害性-
注) 上記のGHS分類で区分の記載がない危険有害性項目については、政府向けガイダンス文書で規定された「分類対象外」、「区分外」又は「分類できない」に該当する。なお、これらに該当する場合は後述の11項に記載した。
GHSラベル要素
絵表示炎ガスボンベ感嘆符健康有害性
注意喚起語危険
危険有害性情報極めて可燃性又は引火性の高いガス
高圧ガス:熱すると爆発のおそれ
吸入すると有害のおそれ
皮膚刺激
強い眼刺激
呼吸器への刺激のおそれ
長期にわたる又は反復ばく露による肺の障害のおそれ
注意書き
 安全対策熱/火花/裸火/高温のもののような着火源から遠ざけること。−禁煙。
取扱い後は...よく洗うこと。
保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用すること。
粉じん/煙/ガス/ミスト/蒸気/スプレーの吸入を避けること。
屋外又は換気の良い場所でのみ使用すること。
粉じん/煙/ガス/ミスト/蒸気/スプレーを吸入しないこと。
 応急措置漏えい(洩)ガス火災の場合:漏えい(洩)が安全に停止されない限り消火しないこと。
安全に対処できるならば着火源を除去すること。
吸入した場合:気分が悪い時は、医師に連絡すること。
皮膚に付着した場合:多量の水と石けん(鹸)で洗うこと。
特別な処置が必要である (このラベルの...を見よ)。注) ”…”は、ラベルに解毒剤等中毒時の情報提供を受けるための連絡先などが記載されている場合のものです。ラベル作成時には、”…”を適切に置き換えてください。
皮膚刺激が生じた場合:医師の診断/手当てを受けること。
汚染された衣服を脱ぎ、再使用する場合には洗濯をすること。
眼に入った場合:水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
眼の刺激が続く場合:医師の診断/手当てを受けること。
吸入した場合:空気の新鮮な場所に移動し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
気分が悪いときは、医師に連絡すること。
気分が悪いときは、医師の診断/手当てを受けること。
 保管換気の良い場所で保管すること。
日光から遮断し、換気の良い場所で保管すること。
換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
施錠して保管すること。
 廃棄内容物/容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に依頼して廃棄すること。
他の危険有害性-

3.組成及び成分情報
単一製品・混合物の区別単一製品
化学名又は一般名シラン
別名シラン
Silane
シラン(別名:モノシラン、四水素化ケイ素)
モノシラン
Monosilane
Silicane
Silicon tetrahydride
濃度又は濃度範囲100%
分子式 (分子量)H4Si (-)
化学特性 (示性式又は
構造式)
構造式
CAS番号7803-62-5
官報公示整理番号
(化審法)
1-735
官報公示整理番号
(安衛法)
情報なし
分類に寄与する不純物及び
安定化添加物
-

4.応急措置「2.危険有害性の要約」における応急措置も確認すること。
吸入した場合被災者を新鮮な空気のある場所に移動し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
皮膚に付着した場合汚染された衣類を脱ぐこと。
皮膚を速やかに洗浄すること。
多量の水と石鹸で洗うこと。
皮膚刺激が生じた場合、医師の診断、手当てを受けること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
汚染された衣類を再使用する前に洗濯すること。
水で数分間注意深く洗うこと。次に、コンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
眼の刺激が持続する場合は、医師の診断、手当てを受けること。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
口をすすぐこと。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
吸入した場合:咳、頭痛、吐き気、咽頭痛。
皮膚に付着した場合:発赤。液体に触れると凍傷。
眼に入った場合情報なし
飲み込んだ場合口をすすぐこと。
気分が悪い時は、医師の手当て、診断を受けること。
急性症状及び遅発性症状の最も重要な
徴候症状
吸入した場合:咳、頭痛、吐き気、咽頭痛。
皮膚に付着した場合:発赤。液体に触れると凍傷。
眼に入った場合:発赤、痛み。
応急措置をする者の保護情報なし
医師に対する特別な注意事項情報なし

5.火災時の措置
消火剤小火災:二酸化炭素、粉末消火剤
大火災:二酸化炭素、粉末消火剤
使ってはならない消火剤ハロン系消火剤
特有の危険有害性容易に発火するおそれがある。
加熱により容器が爆発するおそれがある。
破裂したボンベが飛翔するおそれがある。
火災によって刺激性又は毒性のガスを発生するおそれがある。
特有の消火方法漏洩が安全に停止されない限り消火しないこと。
安全に対処できるならば着火源を除去すること。
危険でなければ火災区域から容器を移動する。
ガスの滞留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。
消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷却する。
漏洩部や安全装置に直接水をかけてはいけない。凍るおそれがある。
消火活動は、有効に行える最も遠い距離から、無人ホース保持具やモニター付きノズルを用いて消火する。
大火災の場合、無人ホース保持具やモニター付きノズルを用いて消火する。これが不可能な場合には、その場所から避難し、燃焼させておく。
ガスの滞留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。
ガス漏れを止められないときは、漏洩ガスの火災は消火しない。
容器内に水を入れてはいけない。
消火を行う者の保護消火作業の際は、適切な空気呼吸器を含め適切な防護服(耐熱性)を着用する。

6.漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及び
緊急措置
漏洩物に触れたり、その中を歩いたりしない。
直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。
関係者以外の立入りを禁止する。
作業者は適切な保護具(「8.ばく露防止及び保護措置」の項を参照)を着用し、眼、皮膚への接触や吸入を避ける。
風上に留まる。
低地から離れる。
ガスが拡散するまでその場所を隔離する。
環境に対する注意事項漏洩物に触れたり、その中を歩いたりしない。
直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。
関係者以外の立入りを禁止する。
作業者は適切な保護具(「8.ばく露防止及び保護措置」の項を参照)を着用し、眼、皮膚への接触や吸入を避ける。
風上に留まる。
低地から離れる。
ガスが拡散するまでその場所を隔離する。
封じ込め及び浄化の方法及び機材危険でなければ漏れを止める。
可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液体でなく気体が放出するようにする。
蒸発を抑え、蒸気の拡散を防ぐため散水を行う。
漏出物を取扱うとき用いる全ての設備は接地する。

7.取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策「8.ばく露防止及び保護措置」に記載の設備対策を行い、保護具を着用する。
安全取扱い注意事項周辺での高温物、スパーク、火気の使用を禁止する。
加圧ガスを含有し、熱すると爆発のおそれがある。
容器は丁寧に取り扱い、衝撃を与えたり、転倒させない。
容器の取り付け、取り外しの作業の際は、漏洩させないよう、十分注意する。
使用後は、バルブを完全に閉め、口金キャップを取り付け、保護キャップを付ける。
漏洩すると、発火、爆発する危険性がある。
内容物を故意に吸い込まないこと。
接触、吸入又は飲み込まないこと。
空気中の濃度をばく露限度以下に保つために排気用の換気を行うこと。
多量に吸入すると、窒息する危険性がある。
目や口に入ると刺激を受けることがあり、使用の際には十分気を付けること。
取扱い後はよく手を洗うこと。
屋外又は換気の良い区域でのみ使用すること。
接触回避情報なし
衛生対策情報なし
保管
安全な保管条件情報なし
安全な容器包装材料高圧ガス保安法及び国連輸送法規で規定されている容器を使用する。

8.ばく露防止及び保護措置
管理濃度未設定
許容濃度
日本産衛学会(2019年度版)最大許容濃度: 100 ppm、130 mg/m3
ACGIH(2019年度版)TLV-TWA: 5 ppm
設備対策防爆仕様の局所排気装置を設置する。
この物質を貯蔵ないし取扱う作業場には洗眼器と安全シャワーを設置すること。
空気中の濃度を制御するには、一般適正換気で十分である。
高熱工程でガスが発生するときは、空気汚染物質を管理濃度・許容濃度以下に保つために換気装置を設置する。
適切な呼吸器保護具を着用すること。
保護具
呼吸用保護具情報なし
手の保護具保温用手袋を着用すること。
眼の保護具適切な眼の保護具を着用すること。
保護眼鏡(普通眼鏡型、側板付き普通眼鏡型、ゴーグル型)
皮膚及び身体の保護具適切な顔面用の保護具を着用すること。

9.物理的及び化学的性質
物理的状態
形状無色の気体 14)
情報なし
臭い特徴的な臭気 14)
臭いのしきい(閾)値データなし
pH情報なし
融点・凝固点-185℃(融点) 1)
沸点、初留点及び沸騰範囲-112℃(沸点) 1)
引火点データなし
蒸発速度(酢酸ブチル=1)データなし
燃焼性(固体、気体)データなし
燃焼又は爆発範囲下限 1.37vol%  上限 100vol% 1)
蒸気圧40.8×103 mbar (-10℃) 1)
蒸気密度1.3 1)
比重(相対密度)0.68 (-185℃、液化状態) 2)
溶解度水: 徐々に反応する(水) 14)
エチルエーテル、ベンゼン、クロロホルム、エタノールに不溶 29)
n-オクタノール/水分配係数データなし
自然発火温度データなし
分解温度データなし
粘度(粘性率)データなし

10.安定性及び反応性
反応性「危険有害反応可能性」を参照。
化学的安定性情報なし
危険有害反応可能性強力な還元剤で酸化剤と反応する。水と徐々に反応する。水酸化カリウム溶液、ハロゲンと反応する。
避けるべき条件空気、加熱、高温面。
混触危険物質四塩化炭素、臭素、塩素、酸素、水、空気、亜酸化窒素。
危険有害な分解生成物水素、ケイ素。

11.有害性情報
急性毒性
経口データなし。
経皮データなし。
吸入:ガスPriority 1文書のACGIH(7th, 2001)のラットのLC50=9600ppm/4hrに従えば区分4の外となるが、Priority 2文書のHSDB(2005)のラットのLC50=4000ppm/4hrは区分4相当であり、区分4までの用量で死亡動物が出ていることから、区分5とした。
吸入:蒸気GHSの定義におけるガス。
吸入:粉じん及びミストGHSの定義におけるガス。
皮膚腐食性及び皮膚刺激性ACGIH(7th, 2001)、ICSC(J)(1997)、HSFS(2001)、SITTIG(4th, 2002)にヒトで皮膚刺激性を示す記述がある。分類の指標となる動物試験のデータは見つからなかったが、HSFS(2001)およびSITTIG(4th, 2002)に「強い刺激性」の記載があることと、安全性を考慮して、区分2とした。
眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性ACGIH(7th, 2001)、ICSC(J)(1997)、HSFS(2001)、SITTIG(4th, 2002)にヒトで眼刺激性を示す記述がある。細区分の指標となる動物試験のデータは見つからなかったが、HSFS(2001)およびSITTIG(4th, 2002)に「強い刺激性」の記載があることと、安全性を考慮して、区分2Aとした。
呼吸器感作性データなし。
皮膚感作性データなし。
生殖細胞変異原性in vivoの試験データは見つからず、in vitroの復帰突然変異試験で陽性報告が1件あるが(RTECS, 2004)、データ不足のため分類できない。
発がん性データなし。
生殖毒性データなし。
特定標的臓器毒性(単回ばく露)ICSC(J)(1997)、HSFS(2001)、SITTIG(4th, 2002)にヒトで気道刺激性を示す記述があり、区分3(気道刺激性)とした。
特定標的臓器毒性(反復ばく露)Priority 2文書のDHP(13th, 2002)にヒトで肺線維症を起こすとの記載があり、区分2(肺)とした。
吸引性呼吸器有害性GHSの定義におけるガス。

12.環境影響情報
生態毒性
水生環境有害性(急性)データがなく分類できない。
水生環境有害性(長期間)データがなく分類できない。
オゾン層への有害性-

13.廃棄上の注意
残余廃棄物廃棄においては、関連法規ならびに地方自治体の基準に従うこと。
都道府県知事などの許可を受けた産業廃棄物処理業者、もしくは地方公共団体がその処理を行っている場合にはそこに委託して処理する。
廃棄物の処理を委託する場合、処理業者等に危険性、有害性を十分告知の上処理を委託する。
汚染容器及び包装容器は洗浄してリサイクルするか、関連法規制ならびに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。

14.輸送上の注意
該当の有無は製品によっても異なる場合がある。法規に則った試験の情報と、12項の環境影響情報とに基づいて、修正が必要な場合がある。
国際規制
国連番号2203
国連品名SILANE
国連危険有害性クラス2.1
副次危険該当しない
容器等級該当しない
海洋汚染物質該当しない
MARPOL73/78附属書K及び
IBCコードによるばら積み
輸送される液体物質
該当しない
国内規制
海上規制情報船舶安全法の規定に従う。
航空規制情報航空法の規定に従う。
陸上規制情報道路法の規定に従う。
特別な安全上の対策道路法、高圧ガス保安法の規定によるイエローカード携行の対象物
その他 (一般的) 注意化学品を扱う場合の一般的な注意として、輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号*該当しない
* 北米緊急時応急措置指針に基づく。米国運輸省が中心となって発行した「2008 Emergency Response Guidebook (ERG 2008)」(一般社団法人日本化学工業協会によって和訳されている(発行元:日本規格協会)に掲載されている。

15.適用法令
法規制情報は作成年月日時点に基づいて記載されております。事業場において記載するに当たっては、最新情報を確認してください。
労働安全衛生法名称等を表示し、又は通知すべき危険物及び有害物(法第57条、施行令第17条別表第3第1号並びに施行令第18条及び第18条の2別表第9)
強い変異原性が認められた化学物質

16.その他の情報
参考文献1) ICSC (1997)
2) Merck (13th, 2001)
14) ICSC (J) (1997)
29) Sax (11th, 2004)
※文献番号は旧SDSによる。
[注意] 本SDSはJIS Z7253:2012 に準拠して作成しています。