| １．化学物質等及び会社情報 | |||
|---|---|---|---|
| 化学物質等の名称 | 三弗化窒素、（Nitrogen trifluoride） | ||
| 製品コード | 21A3572 | ||
| 会社名 | ○○○○株式会社 | ||
| 住所 | 東京都△△区△△町△丁目△△番地 | ||
| 電話番号 | 03-1234-5678 | ||
| 緊急時の電話番号 | 03-1234-5678 | ||
| FAX番号 | 03-1234-5678 | ||
| メールアドレス | |||
| 推奨用途及び使用上の制限 | 半導体化学でプラズマエッチング液フッ化水素レーザー | ||
| ２．危険有害性の要約 | |||
|---|---|---|---|
| GHS分類 | |||
| 分類実施日 | H22.3.16、政府向けGHS分類ガイダンス（H21.3版）を使用 | ||
| 物理化学的危険性 | 火薬類 | 分類対象外 |
|---|---|---|
| 可燃性・引火性ガス | 区分外 | |
| 可燃性・引火性エアゾール | 分類対象外 | |
| 支燃性・酸化性ガス類 | 区分1 | |
| 高圧ガス | 高圧液化ガス | |
| 引火性液体 | 分類対象外 | |
| 可燃性固体 | 分類対象外 | |
| 自己反応性化学品 | 分類対象外 | |
| 自然発火性液体 | 分類対象外 | |
| 自然発火性固体 | 分類対象外 | |
| 自己発熱性化学品 | 分類対象外 | |
| 水反応可燃性化学品 | 分類対象外 | |
| 酸化性液体 | 分類対象外 | |
| 酸化性固体 | 分類対象外 | |
| 有機過酸化物 | 分類対象外 | |
| 金属腐食性物質 | 分類できない | |
| 健康に対する有害性 | 急性毒性（経口） | 分類できない |
| 急性毒性（経皮） | 分類できない | |
| 急性毒性（吸入：ガス） | 区分4 | |
| 急性毒性（吸入：蒸気） | 分類対象外 | |
| 急性毒性（吸入：粉じん） | 分類対象外 | |
| 急性毒性（吸入：ミスト） | 分類対象外 | |
| 皮膚腐食性・刺激性 | 分類できない | |
| 眼に対する重篤な損傷・眼刺激性 | 分類できない | |
| 呼吸器感作性 | 分類できない | |
| 皮膚感作性 | 分類できない | |
| 生殖細胞変異原性 | 分類できない | |
| 発がん性 | 分類できない | |
| 生殖毒性 | 分類できない | |
| 特定標的臓器・全身毒性（単回ばく露） | 区分2（血液系） | |
| 特定標的臓器・全身毒性（反復ばく露） | 区分2（肝臓、腎臓） | |
| 吸引性呼吸器有害性 | 分類対象外 | |
| 環境に対する有害性 | 水生環境急性有害性 | 分類できない |
| 水生環境慢性有害性 | 分類できない |
| ラベル要素 | |||
|---|---|---|---|
| 絵表示又はシンボル |     | ||
| 注意喚起語 | 危険 | ||
| 危険有害性情報 | 発火または火災助長のおそれ：酸化性物質 | ||
| 加圧ガス：熱すると爆発のおそれ | |||
| 吸入すると有害 | |||
| 血液系の障害のおそれ | |||
| 長期にわたる、または、反復ばく露により肝臓、腎臓の障害のおそれ | |||
| 注意書き | |||
| 【安全対策】 | |||
| 禁忌物質から遠ざけること。 | |||
| 減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。 | |||
| 屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。 | |||
| ガスを吸入しないこと。 | |||
| 取扱い後はよく手を洗うこと。 | |||
| この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。 | |||
| 【応急措置】 | |||
| 火災の場合、安全に対処できるならば漏洩を止めること。 | |||
| 吸入した場合、空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。 | |||
| 吸入した場合、気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| ばく露した時、または気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| 気分が悪い時は、医師の診断、手当てを受けること。 | |||
| 【保管】 | |||
| 換気の良い場所で保管すること。 | |||
| 日光から遮断し、換気の良い場所で保管すること。 | |||
| 施錠して保管すること。 | |||
| 【廃棄】 | |||
| 内容物、容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に業務委託すること。 | |||
| 国・地域情報 | |||
| ３．組成及び成分情報 | |||
|---|---|---|---|
| 化学物質 | |||
| 化学名又は一般名 | 三弗化窒素 | ||
| 別名 | 三フッ化窒素、トリフルオロアミン、(Trifluoroamine)、ペルフルオロアンモニア、(Perfluoroammonia) | ||
| 分子式 (分子量) | F3N（71） | ||
| 化学特性 (示性式又は構造式) |  | ||
| CAS番号 | 7783-54-2 | ||
| 官報公示整理番号（化審法・安衛法） | 化審法：(1)-1218 安衛法：1-(3)-288 | ||
| 分類に寄与する不純物及び安定化添加物 | データなし | ||
| 濃度又は濃度範囲 | 100% | ||
| ４．応急措置 | |||
|---|---|---|---|
| 吸入した場合 | 空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。 | ||
| 気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| 皮膚に付着した場合 | 水と石鹸で洗うこと。 | ||
| 気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| 目に入った場合 | 水で数分間注意深く洗うこと。 | ||
| 気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| 飲み込んだ場合 | 口をすすぐこと。 | ||
| 気分が悪い時は、医師に連絡すること。 | |||
| 予想される急性症状及び遅発性症状 | 吸入：データなし | ||
| 皮膚：データなし | |||
| 眼：データなし | |||
| 経口摂取 ： データなし | |||
| 最も重要な兆候及び症状 | 肝臓、腎臓に影響を与えることがある。反復あるいは長期にわたる吸入ばく露によりフッ素沈着を引き起こすことがある。 | ||
| 応急措置をする者の保護 | データなし | ||
| 医師に対する特別注意事項 | データなし | ||
| ５．火災時の措置 | |||
|---|---|---|---|
| 消火剤 | 水噴霧、泡消火剤、粉末消火剤、炭酸ガス、乾燥砂類 | ||
| 使ってはならない消火剤 | 棒状放水 | ||
| 特有の危険有害性 | 加熱により容器が爆発するおそれがある。 | ||
| 燃焼している可燃物の性状に適した消化方法を利用すること | |||
| 破裂したボンベが飛翔するおそれがある。 | |||
| 火炎に包まれたボンベは、安全弁から支燃性ガスの放出のおそれがある。 | |||
| 火災時に刺激性、腐食性及び毒性のガスを発生するおそれがある。 | |||
| それ自身は燃えないが、支燃性である。 | |||
| 特有の消火方法 | 容器が熱に晒されているときは、移動させない。 | ||
| 危険でなければ火災区域から容器を移動する。 | |||
| 安全に対処できるならば着火源を除去すること。 | |||
| 消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷却する。 | |||
| ガスの滞留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。 | |||
| 損傷したボンベは専門家だけが取り扱う。 | |||
| 火を封じ込み燃焼させる。消火が必要であれば、注水又は水噴霧が推奨される。 | |||
| 消火を行う者の保護 | 適切な空気呼吸器、防護服（耐熱性）を着用する。 | ||
| 消火作業の際は、空気呼吸器を含め適切な防護服（耐熱性）を着用する。 | |||
| ６．漏出時の措置 | |||
|---|---|---|---|
| 人体に対する注意事項、保護具および緊急措置 | 全ての着火源を取り除く。 | ||
| 直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。 | |||
| 関係者以外の立入りを禁止する。 | |||
| 風上に留まる。 | |||
| 低地から離れる。 | |||
| ガスが拡散するまでその区域を立入禁止とする。 | |||
| 密閉された場所は換気する。 | |||
| 環境に対する注意事項 | 環境中に放出してはならない。 | ||
| 回収・中和 | 危険でなければガス漏れを止める。 | ||
| 封じ込め及び浄化方法・機材 | 危険でなければ漏れを止める。 | ||
| 可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液体でなく気体が放出するようにする。 | |||
| 二次災害の防止策 | すべての発火源を速やかに取除く（近傍での喫煙、火花や火炎の禁止）。 | ||
| 排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場所への流入を防ぐ。 | |||
| ガスが拡散するまでその場所を隔離する。 | |||
| 可燃物（木、紙、油等）は漏洩物から隔離する。 | |||
| ７．取扱い及び保管上の注意 | |||
|---|---|---|---|
| 取扱い | |||
| 技術的対策 | 『８．ばく露防止及び保護措置』に記載の設備対策を行い、保護具を着用する。 | ||
| 局所排気・全体換気 | 『８．ばく露防止及び保護措置』に記載の局所排気、全体換気を行う。 | ||
| 安全取扱い注意事項 | 減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。 | ||
| 屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。 | |||
| ガスを吸入しないこと。 | |||
| 取扱い後はよく手を洗うこと。 | |||
| この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。 | |||
| 接触回避 | 『１０．安定性及び反応性』を参照。 | ||
| 保管 | |||
| 技術的対策 | 高圧ガス法の規制に従う。 | ||
| 混触危険物質 | 『１０．安定性及び反応性』を参照。 | ||
| 保管条件 | 容器を密閉して冷乾所にて保存すること。 | ||
| 禁忌物質から離して保管すること。 | |||
| 容器包装材料 | データなし | ||
| ８．ばく露防止及び保護措置 | |||
|---|---|---|---|
| 管理濃度 | 未設定 (2009年度) | ||
| 許容濃度 (ばく露限界値､生物学的ばく露指標) | |||
| 日本産衛学会 | 未設定 (2009年度) | ||
| ＡＣＧＩＨ | TWA 10ppm (2009年度) | ||
| 設備対策 | この物質を貯蔵ないし取扱う作業場には洗眼器と安全シャワーを設置すること。 | ||
| 作業場には全体換気装置、局所排気装置を設置すること。 | |||
| 保護具 | |||
| 呼吸器の保護具 | 適切な呼吸器保護具を着用すること。 | ||
| 手の保護具 | 適切な保護手袋を着用すること。 | ||
| 眼の保護具 | 適切な眼の保護具を着用すること。 | ||
| 皮膚及び身体の保護具 | 適切な保護衣を着用すること。 | ||
| 衛生対策 | 取扱い後はよく手を洗うこと。 | ||
| ９．物理的及び化学的性質 | |||
|---|---|---|---|
| 物理的状態 | |||
| 形状 | 気体 | ||
| 色 | 無色 | ||
| 臭い | カビ臭 : HSDB (2009) | ||
| ｐＨ | データなし | ||
| 融点・凝固点 | -206.79℃ : Lide (88th, 2008) | ||
| 沸点、初留点及び沸騰範囲 | -128.75℃ : Lide (88th, 2008) | ||
| 引火点 | 不燃性ガス（ICSC(J) (2004) | ||
| 自然発火温度 | データなし | ||
| 燃焼性（固体、ガス） | データなし | ||
| 爆発範囲 | データなし | ||
| 蒸気圧 | データなし | ||
| 蒸気密度 | データなし | ||
| 蒸発速度（酢酸ブチル＝１） | データなし | ||
| 比重（密度） | 1.885g/cm3 (-129℃)(liq) : HSDB (2009) | ||
| 溶解度 | データなし | ||
| 水に不溶 : Merck (14th, 2006) | |||
| オクタノール・水分配係数 | データなし | ||
| 分解温度 | データなし | ||
| 粘度 | データなし | ||
| 粉じん爆発下限濃度 | データなし | ||
| 最小発火エネルギー | データなし | ||
| 体積抵抗率(導電率) | データなし | ||
| １０．安定性及び反応性 | |||
|---|---|---|---|
| 安定性 | 法規制に従った保管及び取扱においては安定と考えられる | ||
| 危険有害反応可能性 | 加熱により分解し、フッ化物を含む有毒なヒュームを生じる。強力な酸化剤で、可燃性物質や還元性物質と反応する。アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジンと激しく反応し、爆発の危険をもたらす。金属を侵す。電気の火花により分解する。加熱すると、破裂の危険を伴う圧力上昇が起こる。 | ||
| 避けるべき条件 | 加熱、電気の火花 | ||
| 混触危険物質 | 可燃性物質や還元性物質、アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジン | ||
| 危険有害な分解生成物 | フッ化物を含む有毒なヒューム | ||
| １１．有害性情報 | |||
|---|---|---|---|
| 急性毒性 | |||
| 経口 | データなし | ||
| 経皮 | データなし | ||
| 吸入 | 吸入（ガス）： | ラットのLC50値 6700 pm/1hr （3350 ppm/4hr）（ACGIH (2001)）に基づき、区分４とした。 | |
| 吸入（蒸気）： | GHSの定義におけるガスである。 | ||
| 吸入（粉じん・ミスト）： | GHSの定義におけるガスである。 | ||
| 皮膚腐食性・刺激性 | データなし | ||
| 眼に対する重篤な損傷・刺激性 | データなし | ||
| 呼吸器感作性又は皮膚感作性 | 呼吸器感作性：データなし | ||
| 皮膚感作性：データなし | |||
| 生殖細胞変異原性 | データなし | ||
| 発がん性 | データなし | ||
| 生殖毒性 | データなし | ||
| 特定標的臓器・全身毒性（単回ばく露） | ラットの吸入試験において、１000 ppm/4hrでメトヘモグロビンの実質的な増加、2500 ppm/4hr以上では死亡の発生があり、死亡時のメトヘモグロビン濃度が総血色素量の60-70%に相当していた（ACGIH (2001)）。別に、本物質はメトヘモグロビンによる無酸素性死亡を起こし、病理学的所見には脾臓の肥大と暗色化が記載されている（ACGIH (2001)）。また、イヌに9600 ppm/60minを吸入ばく露により、ハインツ小体誘発性溶血、貧血、ヘマトクリット・ヘモグロビン・赤血球数の減少が見られ、臨床症状はメトヘモグロビン形成により起きる組織中毒性無酸素症と符号すると記述されている（ACGIH (2001)）。以上より、主な影響はメトヘモグロビン形成によるものであり、ガイダンス値区分２の範囲で発生が見られることから、区分2（血液系）とした。 | ||
| 特定標的臓器・全身毒性（反復ばく露） | ラットに19週間の吸入ばく露により、100 ppm/7hrs/day（116 ppm/6hrs/day）で肝臓に軽度〜中等度の病理学的変化、腎臓に間質性尿細管腎炎が生じ、特に腎臓傷害の特徴からフッ素中毒が示唆されたと記述されている（ACGIH (2001)）。ばく露量がガイダンス値範囲区分２に相当していることから、区分2（肝臓、腎臓）とした。なお、この試験で脾臓および血液指標には有意な影響はなく、歯と骨にもフッ素中毒の証拠は見られなかった（ACGIH (2001)）。 | ||
| 吸引性呼吸器有害性 | ＧＨＳの定義におけるガスである。 | ||
| １２．環境影響情報 | |||
|---|---|---|---|
| 水生環境急性有害性 | データなし | ||
| 水生環境慢性有害性 | データなし | ||
| １３．廃棄上の注意 | |||
|---|---|---|---|
| 残余廃棄物 | 廃棄の前に、可能な限り無害化、安定化及び中和等の処理を行って危険有害性のレベルを低い状態にする。 | ||
| 廃棄においては、関連法規並びに地方自治体の基準に従うこと。 | |||
| 汚染容器及び包装 | 容器は清浄にしてリサイクルするか、関連法規並びに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。 | ||
| 空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。 | |||
| １４．輸送上の注意 | |||
|---|---|---|---|
| 国際規制 | |||
| 海上規制情報 | ＩＭＯの規定に従う。 | ||
| UN No. | 2451 | ||
| Proper Shipping Name. | NITROGEN TRIFLUORIDE | ||
| Class | 2.2 | ||
| Sub Risk | 5.1 | ||
| Packing Group | - | ||
| Marine Pollutant | Not Applicable | ||
| 航空規制情報 | ＩＣＡＯ・ＩＡＴＡの規定に従う。 | ||
| UN No. | 2451 | ||
| Proper Shipping Name. | Nitrogen trifluoride | ||
| Class | 2.2 | ||
| Sub Risk | 5.1 | ||
| Packing Group | - | ||
| 国内規制 | |||
| 陸上規制情報 | 高圧ガス保安法の規定に従う。 | ||
| 海上規制情報 | 船舶安全法の規定に従う。 | ||
| 国連番号 | 2451 | ||
| 品名 | 三フッ化窒素 | ||
| クラス | 2.2 | ||
| 副次危険 | 5.1 | ||
| 容器等級 | - | ||
| 海洋汚染物質 | 非該当 | ||
| 航空規制情報 | 航空法の規定に従う。 | ||
| 国連番号 | 2451 | ||
| 品名 | 三フッ化窒素 | ||
| クラス | 2.2 | ||
| 副次危険 | 5.1 | ||
| 等級 | - | ||
| 特別安全対策 | 移送時にイエローカードの保持が必要。 | ||
| 食品や飼料と一緒に輸送してはならない。 | |||
| 輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。 | |||
| 重量物を上積みしない。 | |||
| 緊急時応急措置指針番号 | 122 | ||
| １５．適用法令 | |||
|---|---|---|---|
| 労働安全衛生法 | 変異原性が認められた新規化学物質（法第５７条の３第１項、労働基準局長通達） 三フッ化窒素 | ||
| 船舶安全法 | 高圧ガス（危規則第３条危険物告示別表第１） | ||
| 航空法 | 高圧ガス（施行規則第１９４条危険物告示別表第１） | ||
| 港則法 | 危険物・高圧ガス（法第２１条２、則第１２条、昭和５４告示５４７別表二イ） | ||
| １６．その他の情報 | |||
|---|---|---|---|
| 参考文献 | 各データ毎に記載した｡ | ||
厚生労働省