職場のあんぜんサイト
安全データシート
(JIS Z7253:2019準拠)
テトラクロロシラン
作成日 2009年3月30日
改訂日 2024年3月29日
化学品の名称テトラクロロシラン
化学品の英語名称Silane, tetrachloro-
製品コードR05-B-026-JNIOSH
供給者の会社名○○○○株式会社
住所東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号03-1234-5678
ファクシミリ番号03-1234-5678
電子メールアドレス連絡先＠検セ.or.jp
緊急連絡電話番号03-1234-5678
推奨用途及び使用上の制限シリコン単結晶原料，光ファイバー用合成石英原料，シリコンウエハーのエピタキシャル成長用，エッティングガス原料 (NITE-CHRIPより引用)
２．危険有害性の要約
GHS分類
分類実施日
(物化危険性及び健康有害性)		R6.3.29、政府向けGHS分類ガイダンス（令和3年度改訂版（Ver2.1))を使用
物理化学的危険性-
健康に対する有害性急性毒性（経口）区分3
急性毒性（吸入：蒸気）区分3
皮膚腐食性／刺激性区分1
眼に対する重篤な損傷性／眼刺激性区分1
特定標的臓器毒性
（単回ばく露）		区分1（呼吸器）
分類実施日
(環境有害性)		H21.3.31、ガイダンス（H20.9.5版）(GHS 2版)
環境に対する有害性-
ＧＨＳラベル要素
絵表示どくろ腐食性健康有害性
注意喚起語危険
危険有害性情報飲み込んだ場合や吸入した場合は有毒
重篤な皮膚の薬傷及び眼の損傷
呼吸器の障害
注意書き
　安全対策取扱い後は手をよく洗うこと。
この製品を使用するときに、飲食又は喫煙をしないこと。
粉じん／煙／ガス／ミスト／蒸気／スプレーの吸入を避けること。
屋外又は換気の良い場所でだけ使用すること。
粉じん／煙／ガス／ミスト／蒸気／スプレーを吸入しないこと。
保護手袋／保護衣／保護眼鏡／保護面を着用すること。
　応急措置直ちに医師に連絡すること。
飲み込んだ場合：直ちに医師に連絡すること。
特別な処置が必要である（このラベルの・・・を見よ）。
注）　”…”は、ラベルに解毒剤等中毒時の情報提供を受けるための連絡先などが記載されている場合のものです。ラベル作成時には、”…”を適切に置き換えてください。
口をすすぐこと。
吸入した場合：空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
飲み込んだ場合：口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。
皮膚（又は髪）に付着した場合：直ちに汚染された衣類を全て脱ぐこと。皮膚を水【又はシャワー】で洗うこと。
汚染された衣類を再使用する場合には洗濯をすること。
眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。
ばく露又はばく露の懸念がある場合：医師に連絡すること。
　保管施錠して保管すること。
換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
　廃棄内容物／容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に依頼して廃棄すること。
他の危険有害性-
３．組成及び成分情報
化学物質・混合物の区別化学物質
化学名又は一般名テトラクロロシラン
慣用名又は別名四塩化ケイ素
英語名Silane, tetrachloro-
Silicon chloride
Silicon tetrachloride
濃度又は濃度範囲情報なし
分子式 (分子量)Cl4Si　(-)
化学特性 (示性式又は構造式)構造式
CAS番号10026-04-7
官報公示整理番号(化審法)1-258
官報公示整理番号(安衛法)情報なし
GHS分類に寄与する成分（不純物及び安定化添加物も含む）情報なし
４．応急措置
吸入した場合新鮮な空気のある場所で半座位で安静にさせる。必要な場合は人工吸入を行う。医師に連絡すること。
以上、ICSC参照。
皮膚に付着した場合汚染された衣服を脱がせる。多量の水で洗浄する。医師に連絡すること。
以上、ICSC参照
眼に入った場合多量の水で洗浄する。できればコンタクトレンズを外す。その後も洗浄を続けること。医師に連絡すること。
以上、GHS分類結果、ICSC参照
飲み込んだ場合口をすすぐ。吐かせない。何も飲ませない。医師に連絡すること。
以上、ICSC参照
急性症状及び遅発性症状の最も重要な徴候症状吸入：咳、咽頭痛、灼熱感、息苦しさ、息切れ。 症状は遅れて現われることがある。
皮膚：発赤、痛み、水疱、膚熱傷。
眼：充血、痛み、重度の熱傷。
経口摂取：灼熱感、腹痛、ショック/虚脱。
以上、ICSC参照。
応急措置をする者の保護に必要な注意事項情報なし
医師に対する特別な注意事項情報なし
５．火災時の措置
適切な消火剤不燃性。周辺の火災に応じた適切な消火剤を使用する。
以上、GESTIS参照。
使ってはならない消火剤水
以上、GESTIS参照。
火災時の特有の危険有害性火災の場合、有害物質（塩化水素）が放出される可能性がある。
以上、GESTIS参照。
特有の消火方法水との接触を避ける。可能であれば、容器を危険区域外に持ち出す。
以上、GESTIS参照。
消火を行う者の特別な保護具及び予防措置消火作業の際は、適切な自給式の呼吸器用保護具、眼や皮膚を保護する防護服 (耐熱性) を着用する。
６．漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及び緊急措置化学保護具（自給式呼吸器）を着用する。
以上、ICSC参照。
環境に対する注意事項水域に対する危険性は低い。非常に多量に水、排水、下水、または地中に入った場合は、自治体に連絡する。
以上、GESTIS参照。
封じ込め及び浄化の方法及び機材すべての着火源を取り除く（現場での喫煙、火花や火炎の禁止）。
危険でなければ漏れを止める。
少量の場合、ウエス、雑巾等でよく拭き取り適切な廃棄容器に回収する。
大量の場合、盛土等で囲って流出を防止する。
排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場所への流入を防ぐ。
二次災害の防止策火花を発生しない安全な用具を使用する｡
７．取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策「8. ばく露防止及び保護措置」に記載の措置を行い、必要に応じて保護具を着用する。
安全取扱注意事項保護手袋／保護衣／保護眼鏡／保護面を着用すること。
容器を開けたままにしない。飛沫を避ける。接触を避ける。補給または移送には排気装置付きの漏れ防止装置を使用すること。
機器類は防爆構造とし、設備は静電気対策を実施する。
周辺での高温物、スパーク、火気の使用を禁止する。
静電気放電に対する予防措置を講ずること。
以上、GHS分類結果、GESTIS、日化協発行ガイドライン参照。
接触回避周辺での高温物、スパーク、火気の使用を禁止する。
衛生対策皮膚や眼への接触を避ける。接触した場合は洗浄する。蒸気またはミストの吸入を避ける。休憩前や作業終了時には石鹸と水で皮膚を洗い、洗浄後は脂肪分の多いスキンケア製品を塗布する。衣服との接触を避ける。汚染された衣類は交換し、注意深く洗うこと。休憩前に着替えが必要になる場合がある。使用するときには飲食、喫煙をしないこと。
静電気放電に対する予防措置を講ずること。
以上、GESTIS参照。
保管
安全な保管条件施錠して保管するか、権限のある者のみが管理する。容器を密閉し、涼しくて乾燥した換気の良い場所に保管すること。内容物を不活性ガス下で保管する。湿気を避けること。
以上、GESTIS、ICSC参照。
安全な容器包装材料国連輸送法規で規定されている容器を使用する。
８．ばく露防止及び保護措置
許容濃度等については日本産衛学会の「許容濃度の勧告」及びACGHIの「TLVs and BEIs」について記載しています。
管理濃度-
濃度基準値
八時間濃度基準値-
短時間濃度基準値-
許容濃度等
日本産衛学会（2023年版）-
ACGIH（2023年版）-
設備対策作業場所には換気設備を設置する。蒸気／空気の混合物は空気より重いので床面での十分な換気も必要である。取り扱い場所の近くに洗眼及び身体洗浄のための設備を設け、標識を付ける。多量の物質を取り扱う場合は、緊急用シャワーが必要である。
以上、GESTIS参照。
保護具
呼吸用保護具必要に応じて状況に応じた適切な呼吸用保護具を使用する。
防毒マスクの選択については､以下の点に留意する。
-防毒マスクは、電動ファン又は面体が国家検定合格品であることを確認し、作業に適した性能及び構造のものを選ぶ｡その際、取扱説明書等に記載されているデータを参考にする｡
-濃度に対応した・・・用吸収缶を使用する
注）　”…”の吸収缶は国家検定合格品又は日本産業規格(JIS T8152)に適合した物質に対応した吸収缶を記載します。SDS作成時には、”…”を適切に置き換えてください。
-作業者が粉じんにばく露される環境で防毒マスクを使用する場合には、防じん機能付き吸収缶を使用する
-酸素濃度が18%未満の場所では使用しない。
手の保護具適切な不浸透性の保護手袋を着用する。
保護手袋の選択については、厚生労働省「皮膚障害等防止用保護具の選定マニュアル」を参照のこと。
眼の保護具化学用安全ゴーグルを着用する。顔面が危険な場合は、顔面保護シールドを着用する。
以上、GESTIS参照。
皮膚及び身体の保護具適切な保護衣または化学防護服を着用する。
以上、GESTIS参照。
９．物理的及び化学的性質
物理的状態
物理状態液体
色無色
臭い刺激臭
融点／凝固点-69 ℃（Hommel （1996)）
-70 ℃（SAX (2000)）
-69.4 ℃（Ullmann (2011)）
沸点、初留点及び沸騰範囲57 ℃（Hommel (1996)、GESTIS(2023)）
57.3 ℃（Ullmann (2011)）
可燃性不燃性（ICSC(2002)）
爆発下限界及び爆発上限界／可燃限界データなし
引火点データなし
自然発火点データなし
分解温度データなし
pH1(20℃)（濃度：5 g/L)（GESTIS(2023)）
動粘性率0.52 mPa*s（25℃、Dynamic Viscosity）（GESTIS(2023)）
0.35 mm2/s（25℃、Kinematic Viscosity）（GESTIS(2023)）
溶解度水: （分解する）（GESTIS(2023)）
benzene, ether, chloroform, petroleum ether, carbon tetrachloride, tin tetrachloride, titanium chloride, sulfur mono- & dichlorides: （混和）（HSDB in PubChem (2023)）
n-オクタノール／水分配係数データなし
蒸気圧260/373/800 hPa（20℃/25℃/50℃）（GESTIS(2023)）
260 mbar（20℃）（Hommel (1996)）
26 kPa（20℃）（ICSC (2021)）
密度及び／又は相対密度1.48 g/cm3（20℃）（GESTIS(2023)）
1.52 （0/4℃）（Merck (2013)）
1.482 （SAX (2000)）
相対ガス密度5.87 （空気=1）（GESTIS(2023)）
5.9 （空気=1）（Hommel (1996)）
粒子特性データなし
１０．安定性及び反応性
反応性「危険有害反応可能性」を参照。
化学的安定性エチレンオキサイドと接触すると重合する。
危険有害反応可能性アルカリ金属、塩基、アルコール、アン。(ICSC)
避けるべき条件加熱、空気との接触。
混触危険物質カリウム、ナトリウム、ジメチルスルホキシドと接触による爆発の危険性
危険有害な分解生成物情報なし
１１．有害性情報
急性毒性
経口本物質は塩化水素及びテトラヒドロキシケイ素に加水分解され、濃度が十分に高くなると急速に不溶性シリカになり沈殿すると考えられている（OECD 2013）。

【分類根拠】
（１）より、区分3とした。なお、新たな知見に基づき、分類結果を見直した（2023年度）。

【根拠データ】
（１）ラットのLD50：238 mg/kg （REACH登録情報 (Accessed July 2023)、OECD CoCAM (2013)）
経皮【分類根拠】
（１）より、区分に該当しない。なお、新たな情報に基づき、分類結果を見直した（2023年度）。

【根拠データ】
（１）ウサギのLD50：> 10,000 mg/kg（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）
吸入: ガス【分類根拠】
GHSの定義における液体であり、区分に該当しない。
吸入: 蒸気【分類根拠】
（１）より、区分3とした。なお、ばく露濃度は飽和蒸気圧濃度の90％（280,326 ppm）より低いため、蒸気と判断し、ppmVを単位とする基準値より判断した。ガイダンスの更新及び新たな情報に基づき、分類結果を見直した（2023年度）。

【根拠データ】
（１）ラットのLC50（1時間）：1,312 ppm （4時間換算：656 ppm）（US AEGL (2012)、REACH登録情報 (Accessed July 2023)）
吸入: 粉じん及びミスト【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
皮膚腐食性及び皮膚刺激性【分類根拠】
（１）、（２）より、区分1とした。

【根拠データ】
（１）ウサギ（n=6）を用いた皮膚刺激性試験（OECD TG 404相当、閉塞、4時間適用、48時間観察）において、重度の紅斑・痂皮、重度の浮腫がみられた（紅斑・痂皮スコア：4/4/4/1.3/4/0、浮腫スコア：3.5/2/4/0/3.5/0）との報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（２）ウサギ（n=3）を用いた皮膚刺激性試験（閉塞、24時間適用、7日観察）において、壊死がみられたとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。

【参考データ等】
（３）ウサギ（n=4）を用いた皮膚刺激性試験（OECD TG 404、閉塞/半閉塞、3分適用、7日観察）において、皮膚一次刺激指数（PDII）が閉塞ばく露の肩と後部で各々2.7及び0.9、半閉塞では1.5及び0.9(PDII<3で区分に該当しない)であったとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性【分類根拠】
（１）～（４）より、区分1とした。

【根拠データ】
（１）皮膚腐食性／刺激性で区分1である。
（２）ウサギを用いた眼刺激性試験（原液0.1 mL、24時間観察）において、適用直後から結膜への損傷性、10分後に角膜混濁がみられ、損傷性は24時間後まで続いたとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（３）ウサギを用いた眼刺激性試験（原液0.005 mL）において、角膜の火傷を含め極めて重度の眼の傷害がみられたとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（４）ウサギ（n=3）を用いた眼刺激性試験（原液0.1ml、24時間観察）において、広範囲の浮腫、角膜の白濁化がみられ、3例すべてで視力が喪失したとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
呼吸器感作性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
皮膚感作性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
生殖細胞変異原性【分類根拠】
In vivoの試験結果はないが、（１）より、in vitroの3つの異なる指標の試験で全て陰性の結果が得られることから区分に該当しない。新たな知見に基づき分類結果を見直した（2023年度）。

【根拠データ】
（１）In vitro試験では、細菌復帰突然変異試験、マウスリンフォーマ細胞（L5178Y株）を用いた遺伝子突然変異試験及び染色体異常試験で、いずれも陰性（-/+S9）の報告がある（US AEGL (2012)、REACH登録情報 (Accessed July 2023)、OECD CoCAM (2013)）。
発がん性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
生殖毒性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。

【参考データ等】
（１）非晶質シリカ（シリカゲル、沈降シリカ）（CAS番号 112926-00-8）について、ラットを用いた強制経口投与による二世代生殖毒性試験（OECD TG416、GLP）及び発生毒性試験（OECD TG414、GLP）では、1,000 mg/kg/dayまで影響は認められなかった（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（２）テトラエチルオルトけい酸（Tetraethyl orthosilicate（TEOS））（CAS番号 78-10-4）について、ラットを用いた強制経口投与による反復投与毒性・生殖発生スクリーニング併合試験（OECD TG422、GLP、10～100 mg/kg/day、28～53日間）では、親動物の生殖能力、児動物の発生及び生後早期の成長への有害影響は認められなかった（REACH登録情報 (Accessed July 2023)、OECD CoCAM (2013)）。
（３）非晶質シリカは、本物質（テトラクロロシラン）の加水分解生成物である。また他の加水分解生成物である塩化水素については、生殖毒性に関するデータはないものの、水素イオンと塩化物イオンは両方とも動物の体液の通常の成分として存在するため、低濃度の塩化水素が悪影響を及ぼす可能性は低いと思われる。（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
特定標的臓器毒性 (単回ばく露)【分類根拠】
（１）、（２）より、区分1（呼吸器）とした。なお、用いる知見を精査し、分類結果を変更した（2023年度）。

【根拠データ】
（１）工場で本物質が漏洩し、男性作業員6名が10～20分間ばく露した事例では、流涙、鼻漏、口と喉の灼熱感、頭痛、咳、軽度の喘鳴などがみられ、症状の殆どは24時間以内に回復したとの報告がある。（REACH登録情報 (Accessed July 2023)、US AEGL (2012)）。
（２）ラットを用いた単回吸入ばく露試験（蒸気、1時間）において、1,209 ppm（ガイダンス換算：4.2 mg/L、区分1の範囲）では3/10例が死亡し、殆どの例に呼吸困難がみられ、1,497 ppm（ガイダンス換算：5.2 mg/L、区分1の範囲）では2/10例に鼻孔閉塞がみられたとの報告がある（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。

【参考データ等】
（３）本物質が加水分解されて生成される塩化水素（CAS登録番号：7647-01-0）の政府GHS分類の本項目は、区分1（呼吸器系）とされている（政府GHS分類結果(2009)）。
特定標的臓器毒性 (反復ばく露)【分類根拠】
データ不足のため分類できない。

【参考データ等】
（１）非晶質シリカ（CAS番号 112926-00-8）について、ラットを用いた90日間強制経口投与試験（5日/週）では、2,000 mg/kg/day（90日換算：1,444 mg/kg/day）までの用量で毒性所見は認められなかった。また別の反復経口（混餌）投与試験では、NOAELは500 mg/kg/dayとされた（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（２）塩化水素（CAS番号 7647-01-0）について、2系統のラットとマウスを用いた90日間吸入ばく露試験（6時間/日、5日/週）において、刺激性/腐食性による局所影響として、低濃度（10 ppm）から鼻腔前部に用量と時間に相関する鼻炎がみられ、マウスでは鼻甲介上皮細胞に好酸性小球、最高濃度（50 ppm）群では口の周囲にヘモジデリンを蓄積したマクロファージの集簇を伴う口唇炎が認められた（REACH登録情報 (Accessed July 2023)）。
（３）非晶質シリカ及び塩化水素は、本物質（テトラクロロシラン）の加水分解生成物である（REACH登録情報 (Accessed 2023)）。
誤えん有害性*【分類根拠】
データ不足のため分類できない。

【参考データ等】
（１）20℃での粘性率 0.48 mPa・s 及び密度 1.48 g/cm3 （REACH登録情報 (Accessed July 2023)）より、動粘性率（20℃）は 0.32 mm2/s と算出される。
*　JIS Z7252の改訂により吸引性呼吸器有害性から項目名が変更となった。
１２．環境影響情報
生態毒性
水生環境有害性 短期(急性)データなし。
水生環境有害性 長期(慢性)データなし。
残留性・分解性情報なし
生態蓄積性情報なし
土壌中の移動性情報なし
オゾン層への有害性当該物質はモントリオール議定書の附属書A～C及びEに列記されていない。
１３．廃棄上の注意
化学品（残余廃棄物）、当該化学品が付着している汚染容器及び包装の安全で、かつ、環境上望ましい廃棄、又はリサイクルに関する情報廃棄においては、関連法規ならびに地方自治体の基準に従うこと。
都道府県知事などの許可を受けた産業廃棄物処理業者、もしくは地方公共団体がその処理を行っている場合にはそこに委託して処理する。
廃棄物の処理を委託する場合、処理業者等に危険性、有害性を十分告知の上処理を委託する。
容器は洗浄してリサイクルするか、関連法規制並びに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。
１４．輸送上の注意
該当の有無は製品によっても異なる場合がある。法規に則った試験の情報と、12項の環境影響情報とに基づいて、修正が必要な場合がある。
国際規制
国連番号1818
品名（国連輸送名）四塩化ケイ素
国連分類8
副次危険-
容器等級Ⅱ
海洋汚染物質該当しない
MARPOL73/78附属書Ⅱ及びIBCコードによるばら積み輸送される液体物質該当しない
国内規制
海上規制情報船舶安全法の規定に従う。
航空規制情報航空法の規定に従う。
陸上規制情報道路法の規定に従う。
特別な安全上の対策道路法の規定によるイエローカード携行の対象物
その他 (一般的) 注意輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号*157
*　北米緊急時応急措置指針に基づく。米国運輸省が中心となって発行した「2020 Emengency Response Guidebook (ERG 2020)」（一般社団法人日本化学工業協会によって和訳されている（発行元：日本規格協会）に掲載されている。
１５．適用法令
法規制情報は作成年月日時点に基づいて記載されております。事業場において記載するに当たっては、最新情報を確認してください。
労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物（法第５７条第１項、施行令第１８条、労働安全衛生規則別表第２）（令和７年４月１日以降）
名称等を通知すべき危険物及び有害物（法第５７条の２、施行令第１８条の２、労働安全衛生規則別表第２）（令和７年４月１日以降）
危険性又は有害性等を調査すべき物（法第５７条の３）（令和７年４月１日以降）
作業場内表示義務（法第１０１条の４）（令和７年４月１日以降）
皮膚等障害化学物質（労働安全衛生規則第５９４条の２）
化学物質排出把握管理促進法（PRTR法）-
毒物及び劇物取締法-
船舶安全法腐食性物質（危規則第３条危険物告示別表第１）
航空法腐食性物質（施行規則第１９４条危険物告示別表第１）
港則法その他の危険物・腐食性物質（法第２０条第２項、規則第１２条、危険物の種類を定める告示別表）
１６．その他の情報
参考文献
9項、11項については各データ毎に記載｡その他の各項については以下を参照。
・NITE化学物質総合情報提供システム（NITE-CHRIP）
・International Chemical Safety Cards (ICSC)
・Hazardous Substances Data Bank (HSDB)
・GESTIS Substance database (GESTIS)
・ERG 2020版　緊急時応急措置指針－容器イエローカードへの適用
・一般社団法人日本化学工業協会 編「GHS対応ガイドライン ラベル及び表示・安全デ－タシ－ト作成指針」
・厚生労働省「皮膚障害等防止用保護具の選定マニュアル第１版」
修正履歴
R6.3.29：
・危険有害性の分類について物理化学的危険性、健康に対する有害性を見直した。
・SDS全般について表記の見直し・改訂をした。