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安全データシート
(JIS Z7253:2019準拠)
トリクロロシラン
作成日 2008年11月06日
改訂日 2020年03月13日
1.化学品等及び会社情報
化学品の名称トリクロロシラン (Trichlorosilane)
製品コードR01-B-030
会社名○○○○株式会社
住所東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号03-1234-5678
ファックス番号03-1234-5678
電子メールアドレス連絡先@検セ.or.jp
緊急連絡電話番号03-1234-5678
推奨用途及び使用上の制限シリコン単結晶の原料、シリコンウエハーのエピタキシャル成長、高純度石英ファイバー材料 (NITE-CHRIPより引用)

2.危険有害性の要約
GHS分類
分類実施日
(物化危険性及び健康有害性)
R2.3.13、政府向けGHS分類ガイダンス (H25年度改訂版 (ver1.1)) を使用
JIS Z7252:2019準拠 (GHS改訂6版を使用)
物理化学的危険性水反応可燃性化学品区分1
健康に対する有害性急性毒性 (経口)区分4
急性毒性 (吸入: 蒸気)区分3
皮膚腐食性/刺激性区分1
眼に対する重篤な損傷性/眼刺激性区分1
特定標的臓器毒性 (単回ばく露)区分1 (呼吸器)
特定標的臓器毒性 (反復ばく露)区分1 (呼吸器)
分類実施日
(環境有害性)
H18年度、GHS分類マニュアル (H18.2.10版)
環境に対する有害性-区分3
GHSラベル要素
絵表示炎腐食性どくろ健康有害性
注意喚起語危険
危険有害性情報水に触れると自然発火するおそれのある可燃性又は引火性ガスを発生
飲み込むと有害
重篤な皮膚の薬傷及び眼の損傷
重篤な眼の損傷
吸入すると有毒
呼吸器の障害
長期にわたる、又は反復ばく露による呼吸器の障害
注意書き
 安全対策水と接触させないこと。
湿気を遮断し、不活性ガス下で取り扱うこと。
粉じん/煙/ガス/ミスト/蒸気/スプレーを吸入しないこと。
取扱後はよく手を洗うこと。
この製品を使用するときに、飲食又は喫煙をしないこと。
屋外又は換気の良い場所でだけ使用すること。
保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用すること。
 応急措置火災の場合:消火するために適切な消火剤を使用すること。
ばく露又はばく露の懸念がある場合:医師に連絡すること。
汚染された衣類を再使用する場合には洗濯をすること。
吸入した場合:空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。医師に連絡すること。
皮膚(又は髪)に付着した場合:直ちに汚染された衣類を全て脱ぐこと。皮膚を水又はシャワーで洗うこと。:直ちに医師に連絡すること。
眼に入った場合:水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。直ちに医師に連絡すること。
飲み込んだ場合:口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。気分が悪いときは医師に連絡すること。
特別な処置が必要である(このラベルの・・・を見よ)。
注) ”…”は、ラベルに解毒剤等中毒時の情報提供を受けるための連絡先などが記載されている場合のものです。ラベル作成時には、”…”を適切に置き換えてください。
 保管乾燥した場所で密閉容器に保管すること。
換気の良い場所で保管すること。容器を密閉しておくこと。
施錠して保管すること。
 廃棄内容物/容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業者に依頼して廃棄すること。
他の危険有害性情報なし

3.組成及び成分情報
単一製品・混合物の区別単一製品
化学名又は一般名トリクロロシラン
別名三塩化シラン
-
濃度又は濃度範囲情報なし
分子式 (分子量)Cl3HSi (135.45)
化学特性 (示性式又は構造式)構造式
CAS番号10025-78-2
官報公示整理番号
(化審法)
1-224
官報公示整理番号
(安衛法)
情報なし
分類に寄与する不純物及び安定化添加物情報なし

4.応急措置
吸入した場合空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。医師に連絡すること。
皮膚に付着した場合直ちに汚染された衣類を全て脱ぐこと。皮膚を水又はシャワーで洗うこと。直ちに医師に連絡すること。
皮膚刺激又は発しん(疹)が生じた場合:医師の診察/手当てを受けること。
眼に入った場合水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。直ちに医師に連絡すること。
飲み込んだ場合口をすすぐこと。無理に吐かせないこと。何も飲ませない。気分が悪いときは医師に連絡すること。
急性症状及び遅発性症状の最も重要な徴候症状吸入: 咳、咽頭痛、灼熱感、息苦しさ、息切れ、症状は遅れて現われることがある
皮膚: 発赤、痛み、水疱、皮膚熱傷
眼: 充血、痛み、重度の熱傷
応急措置をする者の保護情報なし
医師に対する特別な注意事項肺水腫の症状は 2〜3時間経過するまで現われない場合が多く、安静を保たないと悪化する。したがって、安静と経過観察が不可欠である。
医師又は医師が認定した者による適切な吸入療法の迅速な施行を検討する。

5.火災時の措置
適切な消火剤AFFF (水性膜泡消火薬剤)、粉末消火薬剤、二酸化炭素
使ってはならない消火剤
特有の危険有害性引火性がきわめて高い。火災時に、刺激性あるいは有毒なフュームやガスを放出する。
蒸気/空気の混合気体は、爆発性である。
蒸気は空気より重く、地面に沿って移動して、遠距離発火の可能性がある。
特有の消火方法水を噴霧して容器類を冷却する。直接水をかけない。
消火を行う者の保護自給式呼吸器、防護服 (耐熱性) を着用する。

6.漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具及び緊急措置関係者以外の立ち入りを禁止する。
作業者は適切な保護具を着用し、眼、皮膚への接触や吸入を避ける。
環境に対する注意事項周辺環境に影響がある可能性があるため、製品の環境中への流出を避ける。
封じ込め及び浄化の方法及び機材危険区域から立ち退く。
専門家に相談する。
個人用保護具: 自給式呼吸器付化学保護衣
換気する。
下水に流してはならない。
漏れた液やこぼれた液を、密閉式の非プラスチック容器にできる限り集める。
残留液を、乾燥砂又は不活性吸収剤に吸収させる。

7.取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策「8. ばく露防止及び保護措置」に記載の措置を行い、必要に応じて保護具を着用する。
安全取扱い注意事項裸火禁止、火花禁止、禁煙。
充填、取り出し、取り扱い時に圧縮空気を使用してはならない。
水と接触させないこと。
湿気を遮断し、不活性ガス下で取り扱うこと。
粉じん/煙/ガス/ミスト/蒸気/スプレーを吸入しないこと。
屋外又は換気の良い場所でだけ使用すること。
保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用すること。
接触回避「10. 安全性及び反応性」を参照。
衛生対策この製品を使用する時に、飲食又は喫煙しないこと。
取扱い後はよく手を洗うこと。
保管
安全な保管条件施錠して保管すること (毒劇物)。
耐火設備で保管する。
乾燥した冷所で密閉容器に保管すること。
換気の良い場所で保管すること。
食品や飼料及び混触危険物質から離しておく。
床面に沿って換気する。
安全な容器包装材料消防法、国連輸送法規で規定されている容器を使用する。

8.ばく露防止及び保護措置
許容濃度については日本産衛学会の「許容濃度の勧告」及びACGHIの「TLVs and BEIs」について記載しています。
管理濃度未設定
許容濃度
日本産衛学会 (2019年度版)未設定
ACGIH (2019年版)未設定
設備対策密閉系、換気、防爆型電気設備及び照明設備を用いる。
保護具
呼吸用保護具呼吸用保護具を使用する。
手の保護具保護手袋を着用する。
眼の保護具呼吸用保護具と併用して、顔面シールド又は眼用保護具を着用する。
皮膚及び身体の保護具保護衣を着用する。

9.物理的及び化学的性質
物理的状態
物理状態液体 (20℃、1気圧) (GHS判定)
無色 (ホンメル (1991))
臭い刺激臭 (ホンメル (1991))
融点/凝固点-127℃ (ホンメル (1991))
沸点、初留点及び沸騰範囲32℃ (ホンメル (1991))
可燃性可燃性 (ホンメル (1991))
爆発下限界及び爆発上限界/可燃限界1.2〜90.5 vol% (空気中) (ICSC (2002))
引火点-25℃ (c.c.) (ホンメル (1991))
自然発火点182℃ (HSDB (Access on July 2019))
分解温度データなし
pHデータなし
動粘性率データなし
溶解度水:反応する (ICSC (2002))
ベンゼン、二硫化炭素、クロロホルム、四塩化炭素に可溶 (HSDB (Access on August 2019))
n-オクタノール/水分配係数log Pow = 1.46 (EST) (PHYSPROP Database (2019))
蒸気圧594 mmHg (25℃) (PHYSPROP Database (2019))
密度及び/又は相対密度1.34 (水 = 1) (ICSC (2002))
相対ガス密度4.7 (空気 = 1) (ICSC (2002))
粒子特性該当しない

10.安定性及び反応性
反応性「危険有害反応可能性」を参照。
化学的安定性情報なし
危険有害反応可能性加熱すると分解し、塩化水素を含む、有毒で腐食性のヒュームを生じる。
水、強酸化剤、強酸及び塩基と 激しく反応し、塩化水素を生じる。
水の存在下で、多くの金属を侵す。
避けるべき条件混触危険物質との接触
混触危険物質水、強酸化剤、強酸、塩基
危険有害な分解生成物塩化水素を含む、有毒で腐食性のヒューム

11.有害性情報
急性毒性
経口【分類根拠】
(1) より、区分4とした。

【根拠データ】
(1) ラットのLD50:1,030 mg/kg (SIDS (2013)、HSDB (Access on July 2019))
経皮【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
吸入: ガス【分類根拠】
GHSの定義における液体であり、ガイダンスの分類対象外に相当し、区分に該当しない。
吸入: 蒸気【分類根拠】
(1) より、区分3とした。
なお、ばく露濃度が飽和蒸気濃度 (781,114.3 ppm) の90%よりも低いため、ミストがほとんど混在しないものとしてppmを単位とする基準値を適用した。
また、旧分類が分類根拠としたRTECSはList3の情報源であり、マウスの知見であることから、今回使用しなかったため、分類結果が変更となった。

【根拠データ】
(1) ラットのLC50 (1時間): 2,767 ppm (4時間換算値: 1,383.5 ppm) (HSDB (Access on July 2019))
吸入: 粉じん及びミスト【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
皮膚腐食性及び皮膚刺激性【分類根拠】
(1) より、区分1とした。なお、影響は本物質の加水分解生成物である塩酸 (CAS番号 7647-01-0) の腐食性によるものと考えられる。

【根拠データ】
(1) 本物質の液体へのばく露はヒトの皮膚及び眼に激しい火傷をを引き起こす (HSDB (Access on July 2019))。

【参考データ等】
(2) EU-CLP分類でSkin Corr. 1B (H314) に分類されている (EU CLP分類 (Access on May 2019))。
眼に対する重篤な損傷性又は眼刺激性【分類根拠】
(1)、(2) より、区分1とした。

【根拠データ】
(1) 本物質の液体へのばく露はヒトの皮膚及び眼に激しい火傷をを引き起こす (HSDB (Access on July 2019))。
(2) 本物質は皮膚腐食性 (区分1) に区分されている。
呼吸器感作性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
皮膚感作性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
生殖細胞変異原性【分類根拠】
(1)、(2) より、in vivo、in vitro試験を含む標準的組合せ試験でいずれも陰性であったことから、ガイダンスにおける分類できないに相当し、区分に該当しない。

【根拠データ】
(1) in vivoでは、ラット小核試験で陰性である (REACH登録情報 (Access on August 2019))。
(2) in vitroでは、細菌の復帰突然変異試験、マウスリンフォーマ試験、染色体異常試験で陰性である (SIAP (2013)、REACH登録情報 (Access on August 2019))。
発がん性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
生殖毒性【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
特定標的臓器毒性 (単回ばく露)【分類根拠】
(1)〜(3) より、区分1 (呼吸器) とした。

【根拠データ】
(1) 本物質は呼吸器系に強い刺激性を示すとの記載がある (HSDB (Access on July 2019))。
(2) 本物質を含むクロロシランは水と反応して速やかに塩酸 (CAS番号 7647-01-0) を生成するため、本物質の毒性影響は生体内で生じた塩酸のばく露による気道と眼に対する影響であることが予測される。塩酸は皮膚、眼、気道に腐食性と刺激性を示す (SIAP (2013))。
(3) ラット及びマウスでは、塩酸のエアロゾルの吸入ばく露により、区分1付近の濃度で、肺胞気腫、無気肺、肺水腫による呼吸不全で死亡がみられた (SIDS (2005))。
特定標的臓器毒性 (反復ばく露)【分類根拠】
(1) より、本物質へのばく露により、加水分解生成物である塩酸 (CAS番号 7647-01-0) とシラントリオール (CAS番号 2445-53-6) による影響が生じると考えられ、(2)、(3) より、ヒト及び実験動物において塩酸の腐食性または刺激性によるものと考えられる呼吸器等への影響がみられていることから、区分1 (呼吸器) とした。新たな情報を加えて検討を行い、旧分類から分類結果を変更した。

【根拠データ】
(1) 本物質を含むクロロシランは水と反応して速やかに塩酸とシラントリオールを生成すると予測される (SIAP (2013))。
(2) 吸入により呼吸器に重度の刺激性を生じる (HSDB (Access on July 2019))。
(3) ラットに本物質を9日間 (6時間/日、5日間/週) 吸入ばく露した結果、25 ppm (ガイダンス値換算: 0.014 mg/L、区分1の範囲) で気道刺激、体重減少及び肺重量増加、50 ppm (ガイダンス値換算: 0.028 mg/L、区分1の範囲) で間質性肺炎、肺胞性組織球増多症がみられ、100 ppm (ガイダンス値換算: 0.055 mg/L、区分1の範囲) で75%が死亡した (HSDB (Access on July 2019))。
誤えん有害性*【分類根拠】
データ不足のため分類できない。
* JIS Z7252の改訂により吸引性呼吸器有害性から項目名が変更となった。

12.環境影響情報
生態毒性
水生環境有害性 (急性)データがなく分類できない。
水生環境有害性 (長期間)データがなく分類できない。
オゾン層への有害性当該物質はモントリオール議定書の附属書に列記されていない。

13.廃棄上の注意
残余廃棄物廃棄においては、関連法規並びに地方自治体の基準に従うこと。
都道府県知事などの許可を受けた産業廃棄物処理業者、もしくは地方公共団体がその処理を行っている場合にはそこに委託して処理する。
廃棄物の処理を委託する場合、処理業者等に危険性、有害性を十分告知の上処理を委託する。
汚染容器及び包装容器は洗浄してリサイクルするか、関連法規制並びに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。

14.輸送上の注意
該当の有無は製品によっても異なる場合がある。法規に則った試験の情報と、12項の環境影響情報とに基づいて、修正が必要な場合がある。
国際規制
国連番号1295
国連品名TRICHLOROSILANE
国連危険有害性クラス4.3
副次危険3, 8
容器等級I
海洋汚染物質該当しない
MARPOL73/78附属書K及びIBCコードによるばら積み輸送される液体物質該当しない
国内規制
海上規制情報船舶安全法の規定に従う。
航空規制情報航空法の規定に従う。
陸上規制情報道路法、毒物及び劇物取締法、消防法の規定に従う。
特別な安全上の対策道路法、毒物及び劇物取締法、消防法の規定によるイエローカード携行の対象物
その他 (一般的) 注意輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号*139
* 北米緊急時応急措置指針に基づく。米国運輸省が中心となって発行した「2016 Emengency Response Guidebook (ERG 2016)」(一般社団法人日本化学工業協会によって和訳されている(発行元:日本規格協会)に掲載されている。

15.適用法令
法規制情報は作成年月日時点に基づいて記載されております。事業場において記載するに当たっては、最新情報を確認してください。
労働安全衛生法危険物・引火性の物(施行令別表第1第4号)【4の2 その他の引火点−30℃以上0℃未満のもの】
化学物質排出把握管理促進法 (PRTR法)該当しない
毒物及び劇物取締法劇物(指定令第2条)【74の3 トリクロロシラン及びこれを含有する製剤】
消防法第3類自然発火性物質及び禁水性物質、塩素化ケイ素化合物(法第2条第7項・別表第1第3類11、危険物令第1条2)【塩素化ケイ素化合物】
道路法車両の通行の制限(施行令第19条の13、(独)日本高速道路保有・債務返済機構公示第12号・別表第2)【5 塩素化ケイ素化合物】
航空法輸送禁止(施行規則第194条)【【国連番号】1295 トリクロロシラン】
船舶安全法可燃性物質類・水反応可燃性物質(危規則第3条危険物告示別表第1)【【国連番号】1295 トリクロロシラン】
港則法その他の危険物・可燃性物質類(水反応可燃性物質)(法第21条第2項、規則第12条、危険物の種類を定める告示別表)【2ホ トリクロロシラン】

16.その他の情報
参考文献
9項、11項については各データ毎に記載。その他の各項については以下を参照。
NITE化学物質総合情報提供システム(NITE-CHRIP)
International Chemical Safety Cards (ICSC)
Hazardous Substances Data Bank (HSDB)
GESTIS Substance database (GESTIS)
ERG 2016版 緊急時応急措置指針−容器イエローカードへの適用