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安全データシート
四フッ化ケイ素
作成日 2010年3月31日
改訂日
1.化学物質等及び会社情報
化学物質等の名称四フッ化ケイ素、(Silicon tetrafluoride)
製品コード21A3556
会社名○○○○株式会社
住所東京都△△区△△町△丁目△△番地
電話番号03-1234-5678
緊急時の電話番号03-1234-5678
FAX番号03-1234-5678
メールアドレス    
推奨用途及び使用上の制限主用途はシランの原料、光電池用シリコンあるいは電子用シリコンの原料
 

2.危険有害性の要約
GHS分類
分類実施日H22.3.16、政府向けGHS分類ガイダンス(H21.3版)を使用
物理化学的危険性火薬類分類対象外
 可燃性・引火性ガス区分外
 可燃性・引火性エアゾール分類対象外
 支燃性・酸化性ガス類区分外
 高圧ガス高圧液化ガス
 引火性液体分類対象外
 可燃性固体分類対象外
 自己反応性化学品分類対象外
 自然発火性液体分類対象外
 自然発火性固体分類対象外
 自己発熱性化学品分類対象外
 水反応可燃性化学品分類対象外
 酸化性液体分類対象外
 酸化性固体分類対象外
 有機過酸化物分類対象外
 金属腐食性物質分類できない
健康に対する有害性急性毒性(経口)分類できない
 急性毒性(経皮)分類できない
 急性毒性(吸入:ガス)分類できない
 急性毒性(吸入:蒸気)分類対象外
 急性毒性(吸入:粉じん)分類対象外
 急性毒性(吸入:ミスト)分類対象外
 皮膚腐食性・刺激性分類できない
 眼に対する重篤な損傷・眼刺激性分類できない
 呼吸器感作性分類できない
 皮膚感作性分類できない
 生殖細胞変異原性分類できない
 発がん性分類できない
 生殖毒性分類できない
 特定標的臓器・全身毒性(単回ばく露)分類できない
 特定標的臓器・全身毒性(反復ばく露)分類できない
 吸引性呼吸器有害性分類対象外
環境に対する有害性水生環境急性有害性分類できない
 水生環境慢性有害性分類できない
ラベル要素
絵表示又はシンボルガスボンベ
注意喚起語警告
危険有害性情報加圧ガス;熱すると爆発のおそれ
注意書き
 【安全対策】
 日光から遮断し、換気の良い場所で保管すること
 【応急措置】
 データなし
 【保管】
 データなし
 【廃棄】
 データなし
国・地域情報
 

3.組成及び成分情報
化学物質
化学名又は一般名四フッ化ケイ素
別名テトラフルオロシラン、(Tetrafluorosilane)、ペルフルオロシラン、(Perfluorosilane)
分子式 (分子量)F4Si(104.08)
化学特性 (示性式又は構造式)構造式
CAS番号7783-61-1
官報公示整理番号(化審法・安衛法)(1)-343
分類に寄与する不純物及び安定化添加物データなし
濃度又は濃度範囲100%
 

4.応急措置
吸入した場合気分が悪い時は、医師の診断、手当てを受けること。
皮膚に付着した場合水と石鹸で洗うこと。
 皮膚刺激が生じた場合、医師の診断、手当てを受けること。
目に入った場合水で数分間注意深く洗うこと。
 眼の刺激が持続する場合は、医師の診断、手当てを受けること。
飲み込んだ場合口をすすぐこと。
 気分が悪い時は、医師の診断、手当てを受けること。
予想される急性症状及び遅発性症状吸入 : 咽頭痛、咳、灼熱感、息切れ、息苦しさ。 症状は遅れて現われることがある。 「注」参照。
 皮膚 : 発赤。 液体に触れた場合:凍傷。
 眼 : 発赤。
 経口摂取 : データなし
最も重要な兆候及び症状肺水腫の症状は 2〜3 時間経過するまで現われない場合が多く、安静を保たないと悪化する。したがって、安静と経過観察が不可欠である。
応急措置をする者の保護データなし
医師に対する特別注意事項医師または医師が認定した者による適切な吸入療法の迅速な施行を検討する。
 

5.火災時の措置
消火剤水噴霧、泡消火剤、粉末消火剤、炭酸ガス、乾燥砂類
使ってはならない消火剤棒状放水
特有の危険有害性火災によって刺激性、腐食性及び/又は毒性のガスを発生するおそれがある。
 加熱により容器が爆発するおそれがある。
 破裂したボンベが飛翔するおそれがある。
特有の消火方法危険でなければ火災区域から容器を移動する。
 消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷却する。
 漏洩部や安全装置に直接水をかけてはいけない。凍るおそれがある。
 損傷したボンベは専門家だけが取り扱う。
消火を行う者の保護適切な空気呼吸器、防護服(耐熱性)を着用する。
 

6.漏出時の措置
人体に対する注意事項、保護具および緊急措置作業者は適切な保護具(『8.ばく露防止措置及び保護措置』の項を参照)を着用し、眼、皮膚への接触や吸入を避ける。
 漏洩物に触れたり、その中を歩いたりしない。
 直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩区域として隔離する。
 関係者以外の立入りを禁止する。
 風上に留まる。
 低地から離れる。
 漏洩場所を換気する。
 ガスが拡散するまでその区域を立入禁止とする。
環境に対する注意事項環境中に放出してはならない。
回収・中和危険でなければ漏れを止める。
封じ込め及び浄化方法・機材危険でなければ漏れを止める。
 可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液体でなく気体が放出するようにする。
二次災害の防止策すべての発火源を速やかに取除く(近傍での喫煙、火花や火炎の禁止)。
 排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場所への流入を防ぐ。
 住居地域及び工業地域の住民に直ちに警告し、危険地域から避難する。
 

7.取扱い及び保管上の注意
取扱い
技術的対策『8.ばく露防止及び保護措置』に記載の設備対策を行い、保護具を着用する。
局所排気・全体換気『8.ばく露防止及び保護措置』に記載の局所排気、全体換気を行う。
安全取扱い注意事項取扱い後はよく手を洗うこと。
 この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。
接触回避『10.安定性及び反応性』を参照。
保管
技術的対策特別に技術的対策は必要としない。
混触危険物質『10.安定性及び反応性』を参照。
保管条件容器を密閉して冷乾所にて保存すること。
容器包装材料データなし
 

8.ばく露防止及び保護措置
管理濃度未設定 (2009年度)
許容濃度 (ばく露限界値、生物学的ばく露指標)
日本産衛学会未設定 (2009年度)
ACGIH未設定 (2009年度)
設備対策この物質を貯蔵ないし取扱う作業場には洗眼器と安全シャワーを設置すること。
 作業場には全体換気装置、局所排気装置を設置すること。
保護具
呼吸器の保護具適切な呼吸器保護具を着用すること。
手の保護具適切な保護手袋を着用すること。
眼の保護具適切な眼の保護具を着用すること。
皮膚及び身体の保護具適切な保護衣を着用すること。
衛生対策取扱い後はよく手を洗うこと。
 

9.物理的及び化学的性質
物理的状態
形状気体
無色
臭い塩化水素に似た強い刺激臭
pHデータなし
融点・凝固点-90.2 ℃ : Lide (88th, 2008) /データなし
沸点、初留点及び沸騰範囲-86 ℃ : Lide (88th, 2008)
引火点不燃性 : ICSC (1997)
自然発火温度データなし
燃焼性(固体、ガス)データなし
爆発範囲データなし
蒸気圧3301 kPa (-18℃)、100 (Solid) (-94.9℃) : Lide (88th, 2008)
蒸気密度3.57 (Air=1) at 15℃ : HSDB (2009)
蒸発速度(酢酸ブチル=1)データなし
比重(密度)データなし、(1.598 g/cm3 (-80℃ Liquid) : Ullmanns (E) (2003))
溶解度データなし
 無水アルコールに溶解; フッ化水素に溶解; エーテルに不溶 : HSDB (2009)
オクタノール・水分配係数データなし
分解温度データなし
粘度データなし
粉じん爆発下限濃度データなし
最小発火エネルギーデータなし
体積抵抗率(導電率)データなし
 

10.安定性及び反応性
安定性法規制に従った保管及び取扱においては安定と考えられる
危険有害反応可能性水によって急速に加水分解する、湿った空気で重い雲の形状 この気体は空気より重い。 加熱すると分解し、フッ化水素[ICSC0283]を含む有毒で腐食性のヒュームを生じる。水と反応し、フッ化水素、ケイ酸を生成する。水の存在下で、多くの金属を侵し、水素を放出する。
避けるべき条件加熱
混触危険物質データなし
危険有害な分解生成物フッ化水素[ICSC0283]を含む有毒で腐食性のヒューム
 

11.有害性情報
急性毒性
経口データなし。 [ 水の存在下でフッ化水素を発生するので、有害性についてはフッ化水素も参照のこと」
経皮データなし。 [ 水の存在下でフッ化水素を発生するので、有害性についてはフッ化水素も参照のこと」
吸入吸入(ガス):ラットLC50=2272 ppm(RTECS (2009;Journal of Toxicological Sciences vol. 18,394,1993)との情報があるが、ばく露時間が不明で分類できない。 [ 水の存在下でフッ化水素を発生するので、有害性についてはフッ化水素も参照のこと」
 吸入(蒸気):GHSの定義におけるガスである。
 吸入(粉じん、ミスト):GHSの定義におけるガスである。
皮膚腐食性・刺激性データなし。 なお皮膚と眼に対し腐食性を示す(ICSC (J) (1997))との記述があり、また四フッ化ケイ素は水の存在下でフッ化水素を発生し刺激性を有する(PATTY (5th, 2001))との記載があるので注意を要する。
眼に対する重篤な損傷・刺激性データなし。 なお皮膚と眼に対し腐食性を示す(ICSC (J) (1997))との記述があり、また四フッ化ケイ素は水の存在下でフッ化水素を発生し刺激性を有する(PATTY (5th, 2001))との記載があるので注意を要する。
呼吸器感作性又は皮膚感作性呼吸器感作性:データなし。
 皮膚感作性:データなし。
生殖細胞変異原性データ不足。 疫学調査により、フッ化水素と四フッ化ケイ素が共存する職業ばく露環境下で末梢血染色体異常や小核の発生頻度の増加の情報があるが、四フッ化ケイ素の寄与の程度が不明である。
発がん性データなし。
生殖毒性データなし。
特定標的臓器・全身毒性(単回ばく露)データ不足。 なお、List 3の情報として、RTECS (2006)にラットを用いた急性毒性試験(吸入ばく露)で肺水腫、肺気腫等の記述が見られるが、ばく露時間の記載がなく具体的な試験内容も不明である。また、EHC 36 (1984)には「気道刺激性物質である」と記述され、HFの吸入ばく露による症状が記載されている。また四フッ化ケイ素は水の存在下でフッ化水素に分解するので注意を要する。
特定標的臓器・全身毒性(反復ばく露)データなし。 なお、フッ素を含む飲料水による骨フッ素沈着症に関する情報がある(EHC 227 (2002))。また四フッ化ケイ素は水の存在下でフッ化水素に分解するので注意を要する。
吸引性呼吸器有害性GHSの定義におけるガスである。
 

12.環境影響情報
水生環境急性有害性データなし
水生環境慢性有害性データなし
 

13.廃棄上の注意
残余廃棄物廃棄の前に、可能な限り無害化、安定化及び中和等の処理を行って危険有害性のレベルを低い状態にする。
 廃棄においては、関連法規並びに地方自治体の基準に従うこと。
汚染容器及び包装容器は清浄にしてリサイクルするか、関連法規並びに地方自治体の基準に従って適切な処分を行う。
 空容器を廃棄する場合は、内容物を完全に除去すること。
 

14.輸送上の注意
国際規制
海上規制情報IMOの規定に従う。
 UN No.1859
 Proper Shipping Name.SILICON TETRAFLUORIDE
 Class2.3
 Sub Risk8
 Packing Group-
 Marine PollutantNot Applicable
航空規制情報ICAO・IATAの規定に従う。
 UN No.1859
 Proper Shipping Name.Silicon tetrafluoride
 積載情報forbidden
国内規制
陸上規制情報高圧ガス保安法の規定に従う。
海上規制情報船舶安全法の規定に従う。
 国連番号1859
 品名テトラフルオロモノシラン
 クラス2.3
 副次危険8
 容器等級-
 海洋汚染物質非該当
航空規制情報航空法の規定に従う。
 国連番号1859
 品名テトラフルオロモノシラン
 積載情報輸送禁止
特別安全対策移送時にイエローカードの保持が必要。
 食品や飼料と一緒に輸送してはならない。
 輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
 重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番号125
 

15.適用法令
大気汚染防止法排出規制物質(有害物質) (法第2条第1項3、政令第1条) 弗素、弗化水素及び弗化珪素
船舶安全法高圧ガス(危規則第3条危険物告示別表第1) テトラフルオロモノシラン
航空法輸送禁止(施行規則第194条) テトラフルオロモノシラン
港則法危険物・高圧ガス(法第21条2、則第12条、昭和54告示547別表二イ) 四フッ化ケイ素
 
 

16.その他の情報
参考文献各データ毎に記載した。